研究発表 - 向川　政治

150kHz帯大電力バースト型誘導性結合Ar/CF4プラズマを用いたシリコンウエハエッチング

口頭（一般）  齋藤雄真，柴田晃大，高橋克幸，向川政治，高木浩一，行村建，小木曽久人，中野禅

令和元年 電気学会 基礎・材料・共通部門大会  (岩手大学（岩手県）) 

2019年09月

　

　

電気学会

擬火花放電プラズマCVD法によるDLC膜特性に及ぼす基板バイアスの効果

口頭（一般）  佐藤一真，武田一希，中村嘉孝，渡部政行，向川政治，鎌田貴晴

令和元年 電気学会 基礎・材料・共通部門大会  (岩手大学（岩手県）) 

2019年09月

　

　

電気学会

反応拡散方程式に基づく容量結合方式誘電体バリア 放電における格子定数の計算

口頭（一般）  村上創，佐藤秀樹，高橋克幸，向川政治， 高木浩一

令和元年 電気学会 基礎・材料・共通部門大会  (岩手大学（岩手県）) 

2019年09月

　

　

電気学会

容量結合方式による誘電体バリア放電の自己組織化構造の連続制御

口頭（一般）  佐藤秀樹，村上創，小國恭平，向川政治， 高木浩一，高橋克幸

令和元年 電気学会 基礎・材料・共通部門大会  (岩手大学（岩手県）) 

2019年09月

　

　

電気学会

Investigation of Plasma Parameters and Mode Transition in Inductively Coupled Plasma with Hydrogen＆Oxygen gases

口頭（一般）  武田一希，佐藤一真，渡辺政行，向川政治， 鎌田貴晴，中村嘉孝

令和元年 電気学会 基礎・材料・共通部門大会  (岩手大学（岩手県）) 

2019年09月

　

　

電気学会

オージェ放出を考慮した誘電体バリアからの二次電子放出係数の温度依存性の理論計算

口頭（一般）  齋藤亮，佐藤優，増山静香，向川政治，高木浩一

2019年度電気関係学会東北支部連合大会  (秋田大学（秋田県）) 

2019年08月

　

　

電気学会

Deposition of DLC films using HiPIMS driven by spiker-sustainer pulses

口頭（一般）  阿部星輝，高橋睦美，高橋克幸，向川政治，高木浩一，行村建

2019年度電気関係学会東北支部連合大会  (秋田大学（秋田県）) 

2019年08月

　

　

電気学会

Characteristics of HiPIMS plasma driven by spiker-sustainer pulses for DLC deposition

ポスター（一般）  M. Takahashi, S. Abe, K. Takahashi, S. Mukaigawa, K. Takaki, Ken Yukimura

XXXIV International Conference on Phenomena in Ionized Gases (XXXIV ICPIG), 10th International Conference on Reactive Plasmas (ICRP-10)  (Sapporo Education and Culture Hall, Sapporo, Hokkaido, Japan) 

2019年07月

　

　

Silicon wafer etching by burst-mode high-power ICP with 150 kHz frequency band

ポスター（一般）  K. Shibata, K. Takahashi, S. Mukaigawa, K. Takaki, Ken Yukimura

XXXIV International Conference on Phenomena in Ionized Gases (XXXIV ICPIG), 10th International Conference on Reactive Plasmas (ICRP-10)  (Sapporo Education and Culture Hall, Sapporo, Hokkaido, Japan) 

2019年07月

　

　

CharacteristicsofHiPIMSDrivenbySpiker-sustainerPulsesforDLCDeposition

ポスター（一般）  Koichi Takaki, Mutsumi Takahashi, Katsuyuki Takahashi, Seiji Mukaigawa and Ken Yukimura

ISPlasma2019/IC-PLANTS2019  (名古屋工業大学（愛知県）) 

2019年03月

　

　

応用物理学会

SiliconWaferEtchingbyBurst-modeHigh-powerICPwith150kHzFrequencyBand

ポスター（一般）  Kodai Shibata, Yuma Saito, Katsuyuki Takahashi, Seiji Mukaigawa, Koichi Takaki, Ken Yukimura, Hisato Ogiso and Shizuka Nakano

ISPlasma2019/IC-PLANTS2019  (名古屋工業大学（愛知県）) 

2019年03月

　

　

応用物理学会

誘電体バリア放電における二次電子放出係数の活性化エネルギー

ポスター（一般）  佐藤 優, 増山 静香, 向川 政治, 高橋 克幸, 高木 浩一

第36回プラズマプロセシング研究会(SPP-36)/第31回プラズマ材料科学シンポジウム(SPSM-31)  (高知城ホール（高知県）) 

2019年01月

　

　

応用物理学会

BSO結晶を用いた斜め入射方式による表面電荷測定法の確立

ポスター（一般）  釜渕靖大, 鎌田貴晴, 高橋克幸, 向川政治, 高木浩一

第36回プラズマプロセシング研究会(SPP-36)/第31回プラズマ材料科学シンポジウム(SPSM-31)  (高知城ホール（高知県）) 

2019年01月

　

　

応用物理学会

BSO結晶を用いた斜め入射方式による表面電荷測定

ポスター（一般）  釜渕靖大, 鎌田貴晴, 高橋克幸, 向川政治, 高木浩一

平成３０年度核融合科学研究所共同研究形式研究会  (核融合科学研究所（岐阜県）) 

2019年01月

　

　

核融合科学研究所

デュアルHiPIMSの基礎特性とDLC成膜への応用

口頭（一般）  高橋睦美，高橋克幸，高木浩一，向川政治，行村建

応用物理学会東北支部第73回学術講演会  (東北大学（宮城県）) 

2018年12月

　

　

応用物理学会

誘電体バリア放電における二次電子放出係数の活性化エネルギー

口頭（一般）  佐藤 優、渥美 風紀、増山 静香、志田 寛、向川 政治、高木 浩一

応用物理学会東北支部第73回学術講演会  (東北大学（宮城県）) 

2018年12月

　

　

応用物理学会

回路インピーダンス測定に基づく誘導結合プラズマの密度測定

口頭（一般）  松原 翔、山田健太、鎌田貴晴、志田 寛、高橋克幸、向川政治、高木浩一

応用物理学会東北支部第73回学術講演会  (東北大学（宮城県）) 

2018年12月

　

　

応用物理学会

斜め入射方式によるBSO結晶を用いた 表面電荷測定法の確立

口頭（一般）  釜渕靖大, 鎌田貴晴, 高橋克幸, 向川政治, 高木浩一

応用物理学会東北支部第73回学術講演会  (東北大学（宮城県）) 

2018年12月

　

　

応用物理学会

自己整合的流体モデルによる誘導結合プラズマのE-H遷移の数値計算

口頭（一般）  西村 康太郎、松原 翔、向川 政治、高木 浩一

応用物理学会東北支部第73回学術講演会  (東北大学（宮城県）) 

2018年12月

　

　

応用物理学会

150 kHz帯大電力バーストパルス ICP によるシリコンウエハエッチング

口頭（一般）  柴田晃大,高橋克幸,向川政治,高木浩一,行村　建,小木曽久人,中野　禅

電気学会放電プラズマパルスパワー合同研究会  (大分大学（大分県）) 

2018年10月

　

　

電気学会