研究発表 - 向川 政治
-
準大気圧下におけるフィラメント状マイクロ波放電プラズマの生成
口頭（一般） 佐々木 善太朗, 鎌田 貴晴, 高橋 克幸, 高木 浩一, 向川 政治
2022年度電気関係学会東北支部連合大会 (オンライン)
2022年08月電気学会
-
150 kHz 帯大電力バースト型誘導性結合窒素プラズマの特性
口頭（一般） 末永光，菊池尚希，高橋克幸，向川政治，高木浩一
第36回プラズマプロセシング研究会(SPP-39)/第31回プラズマ材料科学シンポジウム(SPSM-34) (オンライン)
2022年01月応用物理学会
-
大気圧窒素マイクロギャップ DBD の自己組織構造の観測
口頭（一般） 赤石崚太, 高橋克幸, 高木浩一 ,向川政治
第36回プラズマプロセシング研究会(SPP-39)/第31回プラズマ材料科学シンポジウム(SPSM-34) (オンライン)
2022年01月応用物理学会
-
フィラメント状大気圧マイクロ波放電プラズマの生成
口頭（一般） 齋藤翼，佐々木善太朗，鎌田貴晴, 高橋克幸，高木浩一, 向川政治
第36回プラズマプロセシング研究会(SPP-39)/第31回プラズマ材料科学シンポジウム(SPSM-34) (オンライン)
2022年01月応用物理学会
-
Burst Width Characteristics of 150 kHz Band High-Power Burst Inductively Coupled Plasma Etching
口頭（一般） Hisaki Kikuchi, Katsuyuki Takahashi, Seiji Mukaigawa and Koichi Takaki
12th Asia-Pacific International Symposium on the Basics and Applications of Plasma Technology (APSPT-12) (オンライン)
2021年12月 -
Influence of Gas Species on Electrical Characteristics of High-Power Pulsed Sputtering
口頭（一般） Taishin Sato, Shoki Abe, Katsuyuki Takahashi, Seiji Mukaigawa and Koichi Takaki
12th Asia-Pacific International Symposium on the Basics and Applications of Plasma Technology (APSPT-12) (オンライン)
2021年12月 -
大気圧マイクロ波放電によるフィラメント状構造の生成
口頭（一般） 齋藤 翼，佐々木 善太朗，鎌田 貴晴，高橋 克幸，高木 浩一，向川 政治
応用物理学会東北支部第７６回学術講演会 (オンライン)
2021年12月応用物理学会
-
大気圧窒素マイクロギャップDBD の自己組織構造の観測
口頭（一般） 赤石 崚太，高橋 克幸，高木 浩一，向川 政治
応用物理学会東北支部第７６回学術講演会 (オンライン)
2021年12月応用物理学会
-
擬火花放電プラズマCVD 法におけるフローティング電極の効果
口頭（一般） 月舘悠斗，鎌田貴晴，渡部政行，向川政治
2021年度電気関係学会東北支部連合大会 (八戸工業大学（オンライン）)
2021年08月電気学会
-
大気圧窒素マイクロギャップDBD の自己組織構造の観測
口頭（一般） 赤石崚太，高橋克之，高木浩一，向川政治
2021年度電気関係学会東北支部連合大会 (八戸工業大学（オンライン）)
2021年08月電気学会
-
ファラデーシールドを用いたE モード誘導結合プラズマの空間分布の制御
口頭（一般） 三浦廉, 鎌田貴晴, 高橋克之, 高木浩一, 向川政治
第38回プラズマプロセシング研究会(SPP-38)/第33回プラズマ材料科学シンポジウム(SPSM-33) (オンライン)
2021年01月応用物理学会
-
誘電体バリア放電における自己組織パターンの時間発展の反応拡散方程式に基づく数値解析
口頭（一般） 村上創，佐藤秀樹，高橋克幸，高木浩一，向川政治
第38回プラズマプロセシング研究会(SPP-38)/第33回プラズマ材料科学シンポジウム(SPSM-33) (オンライン)
2021年01月応用物理学会
-
150 kHz 帯大電力パルスバースト型誘導性結合Ar プラズマの電気的特性の時間分解計測
口頭（一般） 菊池 尚希，齋藤 雄真，高橋 克幸，向川 政治，高木 浩一，行村 建
応用物理学会東北支部第75回学術講演会 (オンライン)
2020年12月応用物理学会
-
高出力パルススパッタリンググロー放電プラズマの電気的特性
口頭（一般） 阿部 星輝，高橋 克幸，向川 政治，高木 浩一，行村 建
第37回プラズマ・核融合学会年会 (オンライン)
2020年12月プラズマ核融合学会
-
150 kHz帯⼤電⼒バースト型誘導性結合Arプラズマの電気的特性の時間分解計測
口頭（一般） 菊池尚希，齋藤雄真，⾼橋克幸，向川政治，⾼⽊浩⼀，⾏村 建
電気学会 放電・プラズマ・パルスパワー合同研究会 (オンライン)
2020年07月電気学会
-
パルス大電力ペニング放電の電気的特性
口頭（一般） 阿部星輝,高橋克幸,向川政治,高木浩一,行村建
電気学会誘電・絶縁材料/放電・プラズマ・パルスパワー/高電圧合同研究会 (三菱電機健康保険組合湯布郷館（大分県）)
2020年01月電気学会
-
Tuning E-mode discharge in inductively coupled plasma using an external capacitor
ポスター（一般） K. Matsubara, R. Miura, T. Kamada, K. Takahashi, S. Mukaigawa, K. Takaki
11th Asia-Pacific International Symposium on the Basics and Applications of Plasma Technology (APSPT-11) (The Kanazawa Chamber of Commerce & Industry, Kanazawa, Japan)
2019年12月 -
Tunable self-organized structure of dielectric barrier discharge by using capacity coupling
ポスター（一般） Hideki Sato, Sou Murakami, Seiji Mukaigawa, Katsuyuki Takahashi, Koichi Takaki
11th Asia-Pacific International Symposium on the Basics and Applications of Plasma Technology (APSPT-11) (The Kanazawa Chamber of Commerce & Industry, Kanazawa, Japan)
2019年12月 -
ファラデーシールドが及ぼす誘導結合プラズマのEモード抑制への影響
口頭（一般） 三浦廉, 松原翔, 鎌田貴晴, 向川政治, 高木浩一
応用物理学会東北支部第74回学術講演会 (日本大学（福島県）)
2019年12月応用物理学会
-
LiNbO3レーザ干渉計における出力光波形の振幅変動とプラズマ環境下基板温度測定
口頭（一般） 西内祐哉, 鈴木悠介, 向川政治, 高木浩一
応用物理学会東北支部第74回学術講演会 (日本大学（福島県）)
2019年12月応用物理学会