研究発表 - 向川　政治

大気圧ヘリウムマイクロギャップDBD における自己組織構造と放電開始電圧

口頭（一般）  狩野遼也 , 高橋克幸 , 高木浩一 , 向川政治

応用物理学会東北支部第7 8 回学術講演会  (アイーナ岩手県民情報交流センター) 

2023年12月

　

　

応用物理学会

大電力パルススパッタリングのガス種依存性

口頭（一般）  五十嵐爽斗 , 佐藤太進 , 高橋克幸 , 向川政治 , 高木浩一

応用物理学会東北支部第7 8 回学術講演会  (アイーナ岩手県民情報交流センター) 

2023年12月

　

　

応用物理学会

誘導結合プラズマのE H モード遷移におけるファラデーシールドの影響

口頭（一般）  中村瑞希 , 高橋響 , 高橋克幸 , 高木浩一 , 鎌田貴晴 , 向川政治

応用物理学会東北支部第7 8 回学術講演会  (アイーナ岩手県民情報交流センター) 

2023年12月

　

　

応用物理学会

擬火花放電プラズマCVD法による水素化アモルファスカーボン膜の成膜

口頭（一般）  月舘悠斗、鎌田貴晴、渡部政行、中村嘉孝、角館俊行、向川政治

第40回 プラズマ・核融合学会 年会  (アイーナ岩手県民情報交流センター) 

2023年11月

　

　

プラズマ・核融合学会

Observation of argon plasma driven by 150 kHz band high power burst pulse voltage

ポスター（一般）  K. Takahashi, N. Takahashi, H. Suenaga, S. Mukaigawa, K. takaki

The 44th International Symposium on Dry Process (DPS2023)  (Winc Aichi, Nagoya, Japan) 

2023年11月

　

　

応用物理学会

Production of High-Density Plasma by 150 kHz Band Burst Pulse for One-Inch Etching Process

口頭（一般）  Koichi Takaki, Naohiro Takahashi, Katsuyuki Takahash, Seiji Mukaigawa

The 7th Taiwan-Japan Workshop on Plasma Life Science and Technology  (National Yang Ming Chiao Tung University, Hsinchu, Taiwan) 

2023年10月

　

　

温度測定によるマイクロ波伝送損失の推定とプラズマ 投入電力

口頭（一般）  佐々木善太朗、目時健吾、 鎌田貴晴、高橋克幸、高木浩一、 向川政治

2023 年度電気関係学会東北支部連合大会  (岩手県立大学) 

2023年09月

　

　

電気学会・電子情報通信学会・照明学会・日本音響学会・映像情報メディア学会・情報処理学会・電気設備学会（各東北支部）・IEEE Sendai Section

誘導結合プラズマおけるファラデーシールドによるE モード放電の抑制

口頭（一般）  中村瑞希、高橋　響、鎌田貴晴、 高橋克幸、高木浩一、向川 政治

2023 年度電気関係学会東北支部連合大会  (岩手県立大学) 

2023年09月

　

　

電気学会・電子情報通信学会・照明学会・日本音響学会・映像情報メディア学会・情報処理学会・電気設備学会（各東北支部）・IEEE Sendai Section

Filamentation of 2.45-GHz microwave discharge plasmas in sub-atmospheric pressure

ポスター（一般）  Zentarou Sasaki, Tsubasa Saito, Takaharu Kamada, Katsuyuki Takahashi, Koichi Takaki, Seiji Mukaigawa

25th International Symposium on Plasma Chemistry (ISPC25)  (Miyako Messe, Kyoto, Japan) 

2023年05月

　

　

大電力パルススパッタリングにおける放電特性のガス種依存性

口頭（一般）  佐藤太進，高橋克幸，向川政治，高木浩一

2022 年度核融合科学研究所共同研究形式研究会  (オンライン) 

2023年01月

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2023年10月

核融合科学研究所

準大気圧マイクロ波放電によるフィラメント状プラズマの生成とPPCへの応用

口頭（一般）  佐々木善太朗, 鎌田貴晴, 高橋克幸, 高木浩一, 向川政治

2022 年度核融合科学研究所共同研究形式研究会  (オンライン) 

2023年01月

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2023年10月

核融合科学研究所

大気圧窒素マイクロギャップ誘電体バリア放電における自己組織構造の観測と制御

口頭（一般）  赤石 崚太, 高橋 克幸, 高木浩一, 向川政治

2022 年度核融合科学研究所共同研究形式研究会  (オンライン) 

2023年01月

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2023年10月

核融合科学研究所

150 kHz 帯大電力パルスバースト型誘導性結合 Ar プラズマの放電観測

口頭（一般）  末永光 ，菊池尚希 ，高橋克幸，向川政治，高木浩一

応用物理学会東北支部第７７回学術講演会  (東北大学片平キャンパス（宮城県）) 

2022年12月

　

　

応用物理学会

誘導結合プラズマの E-H モード遷移における直列容量の影響

口頭（一般）  高橋響，中村瑞希，鎌田貴晴，高橋克幸，高木浩一，向川政治

応用物理学会東北支部第７７回学術講演会  (東北大学片平キャンパス（宮城県）) 

2022年12月

　

　

応用物理学会

BSO 結晶を用いた基板表面電荷分布の時間発展の測定

口頭（一般）  後藤優太，岩渕将士，神原秀也，高椅克幸，高木浩一，向川政治

応用物理学会東北支部第７７回学術講演会  (東北大学片平キャンパス（宮城県）) 

2022年12月

　

　

応用物理学会

BSO 結晶による自己組織化誘電体バリア放電の表面電荷測定

口頭（一般）  神原秀也 ，後藤優太 ，高橋克幸 ，高木浩一 ，向川政治

応用物理学会東北支部第７７回学術講演会  (東北大学片平キャンパス（宮城県）) 

2022年12月

　

　

応用物理学会

Generation of 2.45-GHz microwave plasma filament in sub-atmospheric pressure

口頭（一般）  Zentarou Sasaki, Tsubasa Saito, Takaharu Kamada, Katsuyuki Takahashi, Koichi Takaki, Seiji Mukaigawa

11th International Conference on Reactive Plasmas, Gaseous Electronics Conference 2022(ICRP-11/GEC 2022/SPP-40/SPSM35)  (仙台国際センター（日本、宮城県）) 

2022年10月

　

　

応用物理学会、アメリカ物理学会

Characteristics of DLC films deposited by pseudo-spark discharge PE-CVD with different substrate bias voltages

口頭（一般）  Takaharu Kamada, Masayuki Watanabe, Yoshitaka Nakamura, Seiji Mukaigawa

11th International Conference on Reactive Plasmas, Gaseous Electronics Conference 2022(ICRP-11/GEC 2022/SPP-40/SPSM35)  (仙台国際センター（日本、宮城県）) 

2022年10月

　

　

応用物理学会、アメリカ物理学会

Observation of the stripe and filamentary self-organized structure of atmospheric pressure nitrogen microgap dielectric barrier discharge

口頭（一般）  Ryota Akaishi, Ryoya Karino, Katuyuki Takahashi, Koichi Takaiki, Seiji Mukaigawa

11th International Conference on Reactive Plasmas, Gaseous Electronics Conference 2022(ICRP-11/GEC 2022/SPP-40/SPSM35)  (仙台国際センター（日本、宮城県）) 

2022年10月

　

　

応用物理学会、アメリカ物理学会

Optimization of Pseudo spark discharge electrode geometry

口頭（一般）  月舘 悠斗, 鎌田 貴晴, 渡部 政行, 中村 嘉孝, 角館 俊行, 向川 政治

2022年度電気関係学会東北支部連合大会  (オンライン) 

2022年08月

　

　

電気学会

準大気圧下におけるフィラメント状マイクロ波放電プラズマの生成

口頭（一般）  佐々木 善太朗, 鎌田 貴晴, 高橋 克幸, 高木 浩一, 向川 政治

2022年度電気関係学会東北支部連合大会  (オンライン) 

2022年08月

　

　

電気学会

150 kHz 帯大電力バースト型誘導性結合窒素プラズマの特性

口頭（一般）  末永光，菊池尚希，高橋克幸，向川政治，高木浩一

第36回プラズマプロセシング研究会(SPP-39)/第31回プラズマ材料科学シンポジウム(SPSM-34)  (オンライン) 

2022年01月

　

　

応用物理学会

大気圧窒素マイクロギャップ DBD の自己組織構造の観測

口頭（一般）  赤石崚太, 高橋克幸, 高木浩一 ,向川政治

第36回プラズマプロセシング研究会(SPP-39)/第31回プラズマ材料科学シンポジウム(SPSM-34)  (オンライン) 

2022年01月

　

　

応用物理学会

フィラメント状大気圧マイクロ波放電プラズマの生成

口頭（一般）  齋藤翼，佐々木善太朗，鎌田貴晴, 高橋克幸，高木浩一, 向川政治

第36回プラズマプロセシング研究会(SPP-39)/第31回プラズマ材料科学シンポジウム(SPSM-34)  (オンライン) 

2022年01月

　

　

応用物理学会

Burst Width Characteristics of 150 kHz Band High-Power Burst Inductively Coupled Plasma Etching

口頭（一般）  Hisaki Kikuchi, Katsuyuki Takahashi, Seiji Mukaigawa and Koichi Takaki

12th Asia-Pacific International Symposium on the Basics and Applications of Plasma Technology (APSPT-12)  (オンライン) 

2021年12月

　

　

Influence of Gas Species on Electrical Characteristics of High-Power Pulsed Sputtering

口頭（一般）  Taishin Sato, Shoki Abe, Katsuyuki Takahashi, Seiji Mukaigawa and Koichi Takaki

12th Asia-Pacific International Symposium on the Basics and Applications of Plasma Technology (APSPT-12)  (オンライン) 

2021年12月

　

　

大気圧マイクロ波放電によるフィラメント状構造の生成

口頭（一般）  齋藤 翼，佐々木 善太朗，鎌田 貴晴，高橋 克幸，高木 浩一，向川 政治

応用物理学会東北支部第７６回学術講演会  (オンライン) 

2021年12月

　

　

応用物理学会

大気圧窒素マイクロギャップDBD の自己組織構造の観測

口頭（一般）  赤石 崚太，高橋 克幸，高木 浩一，向川 政治

応用物理学会東北支部第７６回学術講演会  (オンライン) 

2021年12月

　

　

応用物理学会

擬火花放電プラズマCVD 法におけるフローティング電極の効果

口頭（一般）  月舘悠斗，鎌田貴晴，渡部政行，向川政治

2021年度電気関係学会東北支部連合大会  (八戸工業大学（オンライン）) 

2021年08月

　

　

電気学会

大気圧窒素マイクロギャップDBD の自己組織構造の観測

口頭（一般）  赤石崚太，高橋克之，高木浩一，向川政治

2021年度電気関係学会東北支部連合大会  (八戸工業大学（オンライン）) 

2021年08月

　

　

電気学会

ファラデーシールドを用いたE モード誘導結合プラズマの空間分布の制御

口頭（一般）  三浦廉, 鎌田貴晴, 高橋克之, 高木浩一, 向川政治

第38回プラズマプロセシング研究会(SPP-38)/第33回プラズマ材料科学シンポジウム(SPSM-33)  (オンライン) 

2021年01月

　

　

応用物理学会

誘電体バリア放電における自己組織パターンの時間発展の反応拡散方程式に基づく数値解析

口頭（一般）  村上創，佐藤秀樹，高橋克幸，高木浩一，向川政治

第38回プラズマプロセシング研究会(SPP-38)/第33回プラズマ材料科学シンポジウム(SPSM-33)  (オンライン) 

2021年01月

　

　

応用物理学会

150 kHz 帯大電力パルスバースト型誘導性結合Ar プラズマの電気的特性の時間分解計測

口頭（一般）  菊池 尚希，齋藤 雄真，高橋 克幸，向川 政治，高木 浩一，行村 建

応用物理学会東北支部第75回学術講演会  (オンライン) 

2020年12月

　

　

応用物理学会

高出力パルススパッタリンググロー放電プラズマの電気的特性

口頭（一般）  阿部 星輝，高橋 克幸，向川 政治，高木 浩一，行村 建

第37回プラズマ・核融合学会年会  (オンライン) 

2020年12月

　

　

プラズマ核融合学会

150 kHz帯⼤電⼒バースト型誘導性結合Arプラズマの電気的特性の時間分解計測

口頭（一般）  菊池尚希，齋藤雄真，⾼橋克幸，向川政治，⾼⽊浩⼀，⾏村 建

電気学会 放電・プラズマ・パルスパワー合同研究会  (オンライン) 

2020年07月

　

　

電気学会

パルス大電力ペニング放電の電気的特性

口頭（一般）  阿部星輝,高橋克幸,向川政治,高木浩一,行村建

電気学会誘電・絶縁材料/放電・プラズマ・パルスパワー/高電圧合同研究会  (三菱電機健康保険組合湯布郷館（大分県）) 

2020年01月

　

　

電気学会

Tuning E-mode discharge in inductively coupled plasma using an external capacitor

ポスター（一般）  K. Matsubara, R. Miura, T. Kamada, K. Takahashi, S. Mukaigawa, K. Takaki

11th Asia-Pacific International Symposium on the Basics and Applications of Plasma Technology (APSPT-11)  (The Kanazawa Chamber of Commerce & Industry, Kanazawa, Japan) 

2019年12月

　

　

Tunable self-organized structure of dielectric barrier discharge by using capacity coupling

ポスター（一般）  Hideki Sato, Sou Murakami, Seiji Mukaigawa, Katsuyuki Takahashi, Koichi Takaki

11th Asia-Pacific International Symposium on the Basics and Applications of Plasma Technology (APSPT-11)  (The Kanazawa Chamber of Commerce & Industry, Kanazawa, Japan) 

2019年12月

　

　

ファラデーシールドが及ぼす誘導結合プラズマのEモード抑制への影響

口頭（一般）  三浦廉, 松原翔, 鎌田貴晴, 向川政治, 高木浩一

応用物理学会東北支部第74回学術講演会  (日本大学（福島県）) 

2019年12月

　

　

応用物理学会

LiNbO3レーザ干渉計における出力光波形の振幅変動とプラズマ環境下基板温度測定

口頭（一般）  西内祐哉, 鈴木悠介, 向川政治, 高木浩一

応用物理学会東北支部第74回学術講演会  (日本大学（福島県）) 

2019年12月

　

　

応用物理学会

150kHz帯大電力バースト型誘導性結合Ar/CF4プラズマを用いたシリコンウエハエッチング

口頭（一般）  齋藤雄真，柴田晃大，高橋克幸，向川政治，高木浩一，行村建，小木曽久人，中野禅

令和元年 電気学会 基礎・材料・共通部門大会  (岩手大学（岩手県）) 

2019年09月

　

　

電気学会

擬火花放電プラズマCVD法によるDLC膜特性に及ぼす基板バイアスの効果

口頭（一般）  佐藤一真，武田一希，中村嘉孝，渡部政行，向川政治，鎌田貴晴

令和元年 電気学会 基礎・材料・共通部門大会  (岩手大学（岩手県）) 

2019年09月

　

　

電気学会

反応拡散方程式に基づく容量結合方式誘電体バリア 放電における格子定数の計算

口頭（一般）  村上創，佐藤秀樹，高橋克幸，向川政治， 高木浩一

令和元年 電気学会 基礎・材料・共通部門大会  (岩手大学（岩手県）) 

2019年09月

　

　

電気学会

容量結合方式による誘電体バリア放電の自己組織化構造の連続制御

口頭（一般）  佐藤秀樹，村上創，小國恭平，向川政治， 高木浩一，高橋克幸

令和元年 電気学会 基礎・材料・共通部門大会  (岩手大学（岩手県）) 

2019年09月

　

　

電気学会

Investigation of Plasma Parameters and Mode Transition in Inductively Coupled Plasma with Hydrogen＆Oxygen gases

口頭（一般）  武田一希，佐藤一真，渡辺政行，向川政治， 鎌田貴晴，中村嘉孝

令和元年 電気学会 基礎・材料・共通部門大会  (岩手大学（岩手県）) 

2019年09月

　

　

電気学会

オージェ放出を考慮した誘電体バリアからの二次電子放出係数の温度依存性の理論計算

口頭（一般）  齋藤亮，佐藤優，増山静香，向川政治，高木浩一

2019年度電気関係学会東北支部連合大会  (秋田大学（秋田県）) 

2019年08月

　

　

電気学会

Deposition of DLC films using HiPIMS driven by spiker-sustainer pulses

口頭（一般）  阿部星輝，高橋睦美，高橋克幸，向川政治，高木浩一，行村建

2019年度電気関係学会東北支部連合大会  (秋田大学（秋田県）) 

2019年08月

　

　

電気学会

Characteristics of HiPIMS plasma driven by spiker-sustainer pulses for DLC deposition

ポスター（一般）  M. Takahashi, S. Abe, K. Takahashi, S. Mukaigawa, K. Takaki, Ken Yukimura

XXXIV International Conference on Phenomena in Ionized Gases (XXXIV ICPIG), 10th International Conference on Reactive Plasmas (ICRP-10)  (Sapporo Education and Culture Hall, Sapporo, Hokkaido, Japan) 

2019年07月

　

　

Silicon wafer etching by burst-mode high-power ICP with 150 kHz frequency band

ポスター（一般）  K. Shibata, K. Takahashi, S. Mukaigawa, K. Takaki, Ken Yukimura

XXXIV International Conference on Phenomena in Ionized Gases (XXXIV ICPIG), 10th International Conference on Reactive Plasmas (ICRP-10)  (Sapporo Education and Culture Hall, Sapporo, Hokkaido, Japan) 

2019年07月

　

　

CharacteristicsofHiPIMSDrivenbySpiker-sustainerPulsesforDLCDeposition

ポスター（一般）  Koichi Takaki, Mutsumi Takahashi, Katsuyuki Takahashi, Seiji Mukaigawa and Ken Yukimura

ISPlasma2019/IC-PLANTS2019  (名古屋工業大学（愛知県）) 

2019年03月

　

　

応用物理学会

SiliconWaferEtchingbyBurst-modeHigh-powerICPwith150kHzFrequencyBand

ポスター（一般）  Kodai Shibata, Yuma Saito, Katsuyuki Takahashi, Seiji Mukaigawa, Koichi Takaki, Ken Yukimura, Hisato Ogiso and Shizuka Nakano

ISPlasma2019/IC-PLANTS2019  (名古屋工業大学（愛知県）) 

2019年03月

　

　

応用物理学会

誘電体バリア放電における二次電子放出係数の活性化エネルギー

ポスター（一般）  佐藤 優, 増山 静香, 向川 政治, 高橋 克幸, 高木 浩一

第36回プラズマプロセシング研究会(SPP-36)/第31回プラズマ材料科学シンポジウム(SPSM-31)  (高知城ホール（高知県）) 

2019年01月

　

　

応用物理学会

BSO結晶を用いた斜め入射方式による表面電荷測定法の確立

ポスター（一般）  釜渕靖大, 鎌田貴晴, 高橋克幸, 向川政治, 高木浩一

第36回プラズマプロセシング研究会(SPP-36)/第31回プラズマ材料科学シンポジウム(SPSM-31)  (高知城ホール（高知県）) 

2019年01月

　

　

応用物理学会

BSO結晶を用いた斜め入射方式による表面電荷測定

ポスター（一般）  釜渕靖大, 鎌田貴晴, 高橋克幸, 向川政治, 高木浩一

平成３０年度核融合科学研究所共同研究形式研究会  (核融合科学研究所（岐阜県）) 

2019年01月

　

　

核融合科学研究所

デュアルHiPIMSの基礎特性とDLC成膜への応用

口頭（一般）  高橋睦美，高橋克幸，高木浩一，向川政治，行村建

応用物理学会東北支部第73回学術講演会  (東北大学（宮城県）) 

2018年12月

　

　

応用物理学会

誘電体バリア放電における二次電子放出係数の活性化エネルギー

口頭（一般）  佐藤 優、渥美 風紀、増山 静香、志田 寛、向川 政治、高木 浩一

応用物理学会東北支部第73回学術講演会  (東北大学（宮城県）) 

2018年12月

　

　

応用物理学会

回路インピーダンス測定に基づく誘導結合プラズマの密度測定

口頭（一般）  松原 翔、山田健太、鎌田貴晴、志田 寛、高橋克幸、向川政治、高木浩一

応用物理学会東北支部第73回学術講演会  (東北大学（宮城県）) 

2018年12月

　

　

応用物理学会

斜め入射方式によるBSO結晶を用いた 表面電荷測定法の確立

口頭（一般）  釜渕靖大, 鎌田貴晴, 高橋克幸, 向川政治, 高木浩一

応用物理学会東北支部第73回学術講演会  (東北大学（宮城県）) 

2018年12月

　

　

応用物理学会

自己整合的流体モデルによる誘導結合プラズマのE-H遷移の数値計算

口頭（一般）  西村 康太郎、松原 翔、向川 政治、高木 浩一

応用物理学会東北支部第73回学術講演会  (東北大学（宮城県）) 

2018年12月

　

　

応用物理学会

150 kHz帯大電力バーストパルス ICP によるシリコンウエハエッチング

口頭（一般）  柴田晃大,高橋克幸,向川政治,高木浩一,行村　建,小木曽久人,中野　禅

電気学会放電プラズマパルスパワー合同研究会  (大分大学（大分県）) 

2018年10月

　

　

電気学会

Application of time evolution global model to a radio-frequency discharge plasma

口頭（一般）  後藤　亮，安藤　晃，西村康太郎，向川政治

平成30年度電気関係学会東北支部連合大会  (岩手大学（岩手県）) 

2018年09月

　

　

電気学会等

BSO結晶を用いた斜め入射方式による表面電荷測定法の確立

口頭（一般）  釜渕靖大，菊池啓太，鎌田貴晴，向川政治，高木浩一

平成30年度電気関係学会東北支部連合大会  (岩手大学（岩手県）) 

2018年09月

　

　

電気学会等

誘電体バリア放電における二次電子放出係数の活性化エネルギー

口頭（一般）  佐藤　優，渥美風紀，多田静香，向川政治，高木浩一

平成30年度電気関係学会東北支部連合大会  (岩手大学（岩手県）) 

2018年09月

　

　

電気学会等

容量結合方式によるマイクロギャップ自己組織化誘電体バリア放電の可変構造制御

口頭（一般）  向川政治,小國恭平,畠山大輝,横田敦也,高橋克幸,高木浩一

電気学会放電/プラズマ・パルスパワー合同研究会  (山形大学（山形県）) 

2018年05月

　

　

電気学会

150 kHz帯大電力パルスバースト型誘導性結合プラズマのグローバル・モデル解析

口頭（一般）  齋藤雄真,柴田晃大,高橋克幸,向川政治,高木浩一,行村　建

電気学会放電/プラズマ・パルスパワー合同研究会  (山形大学（山形県）) 

2018年05月

　

　

電気学会

プラズマ環境下における基板の温度測定に向けたLiNbO3結晶による温度測定と結晶内縦方向温度分布の影響

口頭（一般）  岸　修人，向川政治，鎌田貴晴，高木浩一

応用物理学会東北支部第72回学術講演会  (秋田大学（秋田県）) 

2017年11月

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2017年12月

応用物理学会

BSO結晶を用いた反射型レーザー干渉計における誘電体表面電荷測定と測定感度

口頭（一般）  菊池啓太、與羽利貴、向川政治、高木浩一

応用物理学会東北支部第72回学術講演会  (秋田大学（秋田県）) 

2017年11月

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2017年12月

応用物理学会

マイクロギャップ誘電体バリア放電におけるフィラメント構造

口頭（一般）  小國恭平，向川政治，鎌田貴晴，高木浩一

応用物理学会東北支部第72回学術講演会  (秋田大学（秋田県）) 

2017年11月

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2017年12月

応用物理学会

疑似一次元プラズマフォトニック結晶の透過率計算

口頭（一般）  宮下琢也，向川政治，高木浩一

応用物理学会東北支部第72回学術講演会  (秋田大学（秋田県）) 

2017年11月

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2017年12月

応用物理学会

高周波大気圧誘電体バリア型放電プラズマのモード遷移

口頭（一般）  菅原純一, 久保田悠揮, 向川政治, 高木浩一

PLASMA CONFERENCE 2017（PLASMA 2017）  (姫路商工会議所（兵庫県）) 

2017年11月

　

　

応用物理学会　日本物理学会　プラズマ核融合学会

Characteristics of 150 kHz band high-power burst inductively coupled plasma

ポスター（一般）  K. Shibata, S. Konno, K. Takahashi, S. Mukaigawa, K. Takaki, K. Yukimura

The 39th International Symposium on Dry Process (DPS2017)   (Tokyo Institute of Technology, Japan) 

2017年11月

　

　

Influence of pulse width on DLC films deposited by HiPIMS

ポスター（一般）  M. Takahashi, H. Dendo, K. Takahashi, S. Mukaigawa, K. Takaki and K. Yukimura

The 39th International Symposium on Dry Process (DPS2017)   (Tokyo Institute of Technology, Japan) 

2017年11月

　

　

BSO結晶を用いた反射型レーザー干渉計における測定感度

口頭（一般）  菊池啓太、與羽利貴、鎌田貴晴、向川政治、高木浩一

平成29年度電気関係学会東北支部連合大会  (弘前大学（青森県）) 

2017年08月

　

　

電気学会等

バリア温度制御下における誘電体バリア放電の絶縁破壊機構

口頭（一般）  佐藤　優,　渥美風紀,　向川政治,　高木浩一

平成29年度電気関係学会東北支部連合大会  (弘前大学（青森県）) 

2017年08月

　

　

電気学会等

高周波大気圧Arマイクロプラズマの安定生成

口頭（一般）  西村康太郎，山田健太，向川政治，高木浩一

平成29年度電気関係学会東北支部連合大会  (弘前大学（青森県）) 

2017年08月

　

　

電気学会等

誘導結合プラズマの発光スペクトルとインピーダンスの気圧及び電力依存性

口頭（一般）  山田健太，向川政治, 高橋克幸, 鎌田貴晴, 高木浩一

平成29年度電気関係学会東北支部連合大会  (弘前大学（青森県）) 

2017年08月

　

　

電気学会等

Generation of atmospheric microgap radio-frequency discharge plasma under controlled temperature conditions

ポスター（一般）  Fuki Atsumi, Seiji Mukaigawa, Koichi Takaki

The 4th Japan-Taiwan Workshop on Plasma Life Science and Technology (JTPL2017)  (Iwate Univ., Japan) 

2017年06月

　

　

The IEEJ Technical Committee on Plasma Science and Technology

Control of lattice constant in self-organized dielectric barrier discharge by gas flow rate

ポスター（一般）  Kyohei Oguni, Kenta Yamada, Kohtaro Nishimura, Yasuhiro Kamabuchi, Takaharu Kamada, Seji Mukaigawa, Koichi Takaki

The 4th Japan-Taiwan Workshop on Plasma Life Science and Technology (JTPL2017)  (Iwate Univ., Japan) 

2017年06月

　

　

The IEEJ Technical Committee on Plasma Science and Technology

157 kHz大電力バースト型誘導結合プラズマの電気-プラズマ特性

口頭（一般）  柴田晃大,今野真之介,高橋克幸,向川政治,高木浩一,行村　建

プラズマ・パルスパワー・放電合同研究会  (京都工芸繊維大学) 

2017年05月

　

　

電気学会

大電力パルスペニング放電特性

口頭（一般）  行村　建,田頭博倫,高橋睦美,向川政治,高木浩一

プラズマ・パルスパワー・放電合同研究会  (京都工芸繊維大学) 

2017年05月

　

　

電気学会

Surface Charge Measurement on Dielectric Barrier Discharge Using Bismuth Silicon Oxide and Dielectric Constant of Bismuth Silicon Oxide

ポスター（一般）  Riki Yoha, Keita Kikuchi, Seiji Mukaigawa, Koichi Takaki

第34回プラズマプロセシング研究会／第29回プラズマ材料科学シンポジウム  (北海道大学　学術交流会館) 

2017年01月

　

　

応用物理学会　日本学術振興会プラズマ材料科学第153委員会

Self-organization in Sub-atmospheric Pressure Dielectric Barrier Discharge and Control of Lattice Spacing

ポスター（一般）  Seiji Mukaigawa, Takaharu Kamada, Takuya Kameyama, Atsuya Yokota, Kyohei Oguni, Koichi Takaki

第34回プラズマプロセシング研究会／第29回プラズマ材料科学シンポジウム  (北海道大学　学術交流会館) 

2017年01月

　

　

応用物理学会　日本学術振興会プラズマ材料科学第153委員会

Generation of High-density Plasma by High Voltage Burst Pulse

ポスター（一般）  Shinnosuke Konno, Katsuyuki Takahashi, Seiji Mukaigawa, Koichi Takaki

第34回プラズマプロセシング研究会／第29回プラズマ材料科学シンポジウム  (北海道大学　学術交流会館) 

2017年01月

　

　

応用物理学会　日本学術振興会プラズマ材料科学第153委員会

Influence of pulse width on DLC films deposited by HiPIMS

ポスター（一般）  Hironori Dendo, Katsuyuki Takahashi, Seiｊi Mukaigawa, Koichi Takaki

第34回プラズマプロセシング研究会／第29回プラズマ材料科学シンポジウム  (北海道大学　学術交流会館) 

2017年01月

　

　

応用物理学会　日本学術振興会プラズマ材料科学第153委員会

自己組織化誘電体バリア放電の構造解析とフォトニックバンド構造

口頭（一般）  沖　秀典，向川 政治, 高木 浩一

第29回光源物性とその応用研究会  (北とぴあ（東京都）) 

2016年12月

　

　

応用物理学会　照明学会

誘電体バリア放電における自己組織構造の履歴現象

ポスター（一般）  横田敦也，小國恭平，向川政治，高木浩一

応用物理学会東北支部第71回学術講演会  (東北大学 大学院工研究科 青葉記念会館 宮城県) 

2016年12月

　

　

応用物理学会

疑似一次元プラズマフォトニック結晶の生成とバンド構造

ポスター（一般）  宮下琢也，沖秀典，向川政治，高木浩一

応用物理学会東北支部第71回学術講演会  (東北大学 大学院工研究科 青葉記念会館 宮城県) 

2016年12月

　

　

応用物理学会

高周波大気圧アルゴンμDBDの安定生成

ポスター（一般）  東 啓介，山田 健太，向川 政治，高木 浩一

応用物理学会東北支部第71回学術講演会  (東北大学 大学院工研究科 青葉記念会館 宮城県) 

2016年12月

　

　

応用物理学会

擬火花放電プラズマCVD法によるDLC膜の特性評価

口頭（一般）  鎌田貴晴, 渡部政行, 向川政治

プラズマ・パルスパワー・放電合同研究会  (岩手大学工学部復興祈念銀河ホール・テクノホール) 

2016年05月

　

　

電気学会

温度制御下における高周波大気圧マイクロギャップ放電の生成

口頭（一般）  渥美風紀, 荒谷　琢, 向川政治, 高木浩一

プラズマ・パルスパワー・放電合同研究会  (岩手大学工学部復興祈念銀河ホール・テクノホール) 

2016年05月

　

　

電気学会

短パルスHiPIMSによる金属イオン生成

口頭（一般）  高木浩一, 田頭博倫, 小西　匠, 高橋克幸, 向川政治, 行村　建

プラズマ・パルスパワー・放電合同研究会  (岩手大学工学部復興祈念銀河ホール・テクノホール) 

2016年05月

　

　

電気学会

自己組織化誘電体バリア放電における流速による格子定数制御

口頭（一般）  小國恭平, 横田敦也, 向川政治, 高木浩一

プラズマ・パルスパワー・放電合同研究会  (岩手大学工学部復興祈念銀河ホール・テクノホール) 

2016年05月

　

　

電気学会

Discharge Mode Transition due to Gas Flow Rate in Microgap Atmospheric Barrier Discharge using Bismuth Silicon Oxide Dielectrics

ポスター（一般）  Naoki Fujita, Riki Yoha, Seiji Mukaigawa, Koichi Takaki

Joint Symposium of the 9th Asia-Pacific International Symposium on the Basics and Applications of Plasma Technology (APSPT-9) and the 28th Symposium on Plasma Science for Materials (SPSM-28)  (Nagasaki Univ., Japan) 

2015年12月

　

　

APSPT-9/SPSM-28 International Organizing Committee, The IEEJ Technical Committee on Plasma Science and Technology; The IEEJ Technical Committee on Electrical Discharge; The 153rd Committee Plasma Materials Science, Japan Society of the Promotion of Science (JSPS)

Self-Organized Micro-Gap Dielectric Barrier Discharges Using Sapphire Dielectrics

ポスター（一般）  Md.Anwarul Islam, Kosuke Jumonji, Shizuka Tada, Seiji Mukaigawa, Koichi Takaki

Joint Symposium of the 9th Asia-Pacific International Symposium on the Basics and Applications of Plasma Technology (APSPT-9) and the 28th Symposium on Plasma Science for Materials (SPSM-28)  (Nagasaki Univ., Japan) 

2015年12月

　

　

APSPT-9/SPSM-28 International Organizing Committee, The IEEJ Technical Committee on Plasma Science and Technology; The IEEJ Technical Committee on Electrical Discharge; The 153rd Committee Plasma Materials Science, Japan Society of the Promotion of Science (JSPS)

Large-area Dielectric Barrier Discharge at Atmospheric Pressure

ポスター（一般）  Takashi Shibata, Takumi Araya, Keisuke Azuma, Hiroki Kikuchi, Seiji Mukaigawa, Koichi Takaki

Joint Symposium of the 9th Asia-Pacific International Symposium on the Basics and Applications of Plasma Technology (APSPT-9) and the 28th Symposium on Plasma Science for Materials (SPSM-28)  (Nagasaki Univ., Japan) 

2015年12月

　

　

APSPT-9/SPSM-28 International Organizing Committee, The IEEJ Technical Committee on Plasma Science and Technology; The IEEJ Technical Committee on Electrical Discharge; The 153rd Committee Plasma Materials Science, Japan Society of the Promotion of Science (JSPS)

誘電体バリア放電におけるBSO結晶を用いた表面電荷測定とBSO結晶の比誘電率

口頭（一般）  與羽利貴，藤田直樹，向川政治，高木浩一

応用物理学会東北支部第70回学術講演会  (南田温泉 ホテルアップルランド，弘前) 

2015年12月

　

　

応用物理学会

He/Ar, He/N2 混合ガスを用いたマイクロギャップ誘電体バリア放電プラズマの自己組織構

ポスター（一般）  重文字洸介，モハマド アヌワル イスラム，向川政治，高木浩一

応用物理学会東北支部第70回学術講演会  (南田温泉 ホテルアップルランド，弘前) 

2015年12月

　

　

応用物理学会

DBD 型マイクロプラズマにおける誘電体厚の効果の数値シミュレーション

ポスター（一般）  工藤智広，横田敦也，向川政治，高木浩一

応用物理学会東北支部第70回学術講演会  (南田温泉 ホテルアップルランド，弘前) 

2015年12月

　

　

応用物理学会

Self-organization in dielectric barrier discharge and control of hexagonal structures

口頭（一般）  Seiji Mukaigawa

7th International Workshop on Plasma Scientech for All Something (PLASAS-７ )  (Iwate Univ., Japan) 

2015年11月

　

　

The IEEJ Technical Committee on Plasma Science and Technology

Self-organization in dielectric barrier discharge and control of hexagonal structures

口頭（一般）  Seiji Mukaigawa,Takuya Kameyama, Tomohiro Kudoh, Atsuya Yokota, Kosuke Jumonji, Koichi Takaki

68th Gaseous Electronics Conference, 9th International Conference on Reactive Plasmas, 33rd Symposium on Plasma Processing (GEC-68/ICRP-9/SPP-33)  (Hawaii Convention Center, Honolulu, USA) 

2015年10月

　

　

American Physical Society (APS) , 応用物理学会

Generation of self-organized micro-gap discharge using sapphire dielectrics

口頭（一般）  Md.Anwarul Islam, Shizuka Tada, Kosuke Jumonji, Seiji Mukaigawa, Koichi Takaki

68th Gaseous Electronics Conference, 9th International Conference on Reactive Plasmas, 33rd Symposium on Plasma Processing (GEC-68/ICRP-9/SPP-33)  (Hawaii Convention Center, Honolulu, USA) 

2015年10月

　

　

American Physical Society (APS) , 応用物理学会

Generation of atmospheric micro gap radio-frequency discharge plasma under controlled temperature conditions

ポスター（一般）  Takumi Araya, Takashi Shibata, Hiroki Kikuchi, Seiji Mukaigawa, Koichi Takaki

68th Gaseous Electronics Conference, 9th International Conference on Reactive Plasmas, 33rd Symposium on Plasma Processing (GEC-68/ICRP-9/SPP-33)  (Hawaii Convention Center, Honolulu, USA) 

2015年10月

　

　

American Physical Society (APS) , 応用物理学会

Timing Control of Self-organized Dielectric Barrier Discharge and Influence of Discharge Driving Frequency

ポスター（一般）  Junichi Sugawara, Yuki Kubota, Hidenori Oki, Seiji Mukaigawa, Koichi Takaki

68th Gaseous Electronics Conference, 9th International Conference on Reactive Plasmas, 33rd Symposium on Plasma Processing (GEC-68/ICRP-9/SPP-33)  (Hawaii Convention Center, Honolulu, USA) 

2015年10月

　

　

American Physical Society (APS) , 応用物理学会

高分子材料表面処理用高周波大気圧DBDリアクタの大型化

口頭（一般）  柴田崇史，荒谷　琢，東　啓介，向川政治，高木浩一

平成27年度電気関係学会東北支部連合大会  (岩手県立大学（岩手県）) 

2015年08月

　

　

電気学会等

熱電対型熱流束計を用いた大気圧プラズマから基板への熱流束測定

口頭（一般）  赤沢　拓，野崎隼斗，向川政治，高木浩一

平成27年度電気関係学会東北支部連合大会  (岩手県立大学（岩手県）) 

2015年08月

　

　

電気学会等

大気圧プラズマジェットからLiNbO3結晶基板への熱流束測定

口頭（一般）  野崎隼斗，赤沢　拓，向川政治，高木浩一

平成27年度電気関係学会東北支部連合大会  (岩手県立大学（岩手県）) 

2015年08月

　

　

電気学会等

高周波大気圧アルゴンμDBDの生成と高分子材料表面処理

口頭（一般）  東　啓介，柴田崇史，荒谷　琢，向川政治，高木浩一

平成27年度電気関係学会東北支部連合大会  (岩手県立大学（岩手県）) 

2015年08月

　

　

電気学会等

並列型マイクロギャップDBDの自己組織化と放電様相の構造解析

口頭（一般）  沖　秀典，菅原純一，向川政治，高木浩一

平成27年度電気関係学会東北支部連合大会  (岩手県立大学（岩手県）) 

2015年08月

　

　

電気学会等

自己組織化誘電体バリア放電における履歴現象の数値計算

口頭（一般）  横田敦也, 工藤智広, 亀山拓也, 向川政治, 高木浩一

電気学会プラズマ研究会  (広島大学（広島県）) 

2015年08月

　

　

電気学会プラズマ技術委員会

Generation of self-organized micro-gap discharge using sapphire dielectrics

口頭（一般）  イスラム モハマド アヌワル, 重文字洸介, 多田静香, 向川政治, 高木浩一

平成27年電気学会全国大会  (東京都市大学（東京都）) 

2015年03月

　

　

電気学会

マイクロギャップ誘電体バリア放電における自己組織現象とバリア容量と圧力の変化に伴う放電様相の変化

口頭（一般）  亀山拓也, 藤原一延, 向川政治, 高木浩一

第29回光源物性とその応用研究会  (北とぴあ（東京都）) 

2014年12月

　

　

応用物理学会　照明学会

温度制御下におけるRF バリア放電プラズマの生成

口頭（一般）  荒谷 琢, 高橋祥大, 柴田崇史, 向川政治, 高木浩一

第69回応用物理学会東北支部学術講演会  (東北大学（宮城県）) 

2014年12月

　

　

応用物理学会

高分子材料表面処理のためのDBD 型高周波大気圧グロー放電の大口径化

口頭（一般）  柴田崇史, 高橋祥大, 荒谷琢, 向川政治, 高木浩一

第69回応用物理学会東北支部学術講演会  (東北大学（宮城県）) 

2014年12月

　

　

応用物理学会

DBDマイクロプラズマの自己組織構造におけるガス圧力と電子移流の効果

ポスター（一般）  工藤智広, 藤原一延，向川政治, 高木浩一

PLASMA CONFERENCE 2014（PLASMA 2014）  (朱鷺メッセ（新潟県）) 

2014年11月

　

　

応用物理学会　日本物理学会　プラズマ核融合学会

自己組織化誘電体バリア放電の放電タイミング制御と放電駆動周波数の影響

ポスター（一般）  菅原純一, 久保田悠揮, 向川政治, 高木浩一

PLASMA CONFERENCE 2014（PLASMA 2014）  (朱鷺メッセ（新潟県）) 

2014年11月

　

　

応用物理学会　日本物理学会　プラズマ核融合学会

He/O2大気圧RFプラズマによる高分子材料表面の親水化処理

ポスター（一般）  高橋祥大, 荒谷琢, 柴田崇史, 向川政治, 高木浩一

PLASMA CONFERENCE 2014（PLASMA 2014）  (朱鷺メッセ（新潟県）) 

2014年11月

　

　

応用物理学会　日本物理学会　プラズマ核融合学会

誘電体バリア放電における自己組織化と六角構造の制御

口頭（一般）  向川政治, 工藤智広, 藤原一延, 亀山拓也, 高木浩一

電気学会プラズマ・パルスパワー・放電合同研究会  (コンパルホール（大分県）) 

2014年10月

　

　

電気学会　プラズマ技術委員会　パルス電磁エネルギー技術委員会　放電技術委員会

マイクロギャップバリア放電の自己組織構造におけるサファイア誘電体層の効果

口頭（一般）  多田静香, 向川政治, 重文字洸介, 高木浩一

電気学会パルスパワー研究会  (岩手大学（岩手県）) 

2014年05月

　

　

電気学会パルス電磁エネルギー技術委員会

LiNbO3を用いた模擬雷電流周辺の電界計測と電流プロファイルの推定

口頭（一般）  大上智紀, アヌワルイスラム, 角田祥, 向川政治, 高木浩一

電気学会パルスパワー研究会  (岩手大学（岩手県）) 

2014年05月

　

　

電気学会パルス電磁エネルギー技術委員会

自己組織化誘電体バリア放電の並列化と放電タイミングの制御

口頭（一般）  菅原純一, 久保田悠揮, 向川政治, 高木浩一

電気学会パルスパワー研究会  (岩手大学（岩手県）) 

2014年05月

　

　

電気学会パルス電磁エネルギー技術委員会

He/O2混合ガスを用いた大気圧RFプラズマによる高分子材料表面の親水性向上

口頭（一般）  高橋祥大, 金谷淳史, 山下寛人, 荒谷琢, 向川政治, 高木浩一

電気学会プラズマ研究会  (足利工業大学（栃木県）) 

2014年05月

　

　

電気学会プラズマ技術委員会

マイクロギャップ誘電体バリア放電の自己組織構造における誘電体容量と圧力の影響

口頭（一般）  亀山拓也, 藤原一延, 向川政治, 高木浩一

電気学会プラズマ研究会  (足利工業大学（栃木県）) 

2014年05月

　

　

電気学会プラズマ技術委員会

大気圧マイクロギャップバリア放電におけるBSO誘電体と気流の効果

口頭（一般）  藤田直樹, 高橋諒太, 工藤智広, 向川政治, 高木浩一

電気学会プラズマ研究会  (足利工業大学（栃木県）) 

2014年05月

　

　

電気学会プラズマ技術委員会

ＤＢＤマイクロプラズマにおける自己組織化の数値計算と六角構造の制御

口頭（一般）  向川政治、藤原一延、小田桐諒、佐藤友彦、亀山拓也、高木浩一、藤原民也

第28回光源物性とその応用研究会（応用物理学会、照明学会）  (神奈川工科大学（神奈川県）) 

2014年03月

　

　

自己組織化マイクロギャップバリア放電とBSO結晶を用いた表面電荷分布測定の空間分解能

口頭（一般）  高橋諒太、藤田直樹、向川政治、高木浩一

第28回光源物性とその応用研究会（応用物理学会、照明学会）  (神奈川工科大学（神奈川県）) 

2014年03月

　

　

Simulation of Self-Organization in DBD Micro Plasma and Control of Hexagonal Pattern Structure by Pressure Change

ポスター（一般）  Kazunobu Fujiwara, Takuya Kameyama, Sizuka Tada, Yuki Kubota, Seiji Mukaigawa, Koichi Takaki

8th International Conference on Reactive Plasmas (ICRP)/ 31st Symposium on Plasma Processing (SPP)  (福岡国際会議場（福岡県）) 

2014年02月

　

　

Generation of self-organized structure of microgap dielectric-barrier discharge with MgO surface layer

ポスター（一般）  S. Tada, Y. Kubota, K. Fujiwara, T. Kameyama, S. Mukaigawa, K. Takaki

8th International Conference on Reactive Plasmas (ICRP)/ 31st Symposium on Plasma Processing (SPP)  (福岡国際会議場（福岡県）) 

2014年02月

　

　

Parallelization and discharge timing control of microgap barrier discharge at atmospheric pressure

ポスター（一般）  Y. Kubota, T. Kameyama, S. Tada, K. Fujiwara, S. Mukaigawa, K. Takaki

8th International Conference on Reactive Plasmas (ICRP)/ 31st Symposium on Plasma Processing (SPP)  (福岡国際会議場（福岡県）) 

2014年02月

　

　

DBD型マイクロプラズマにおける自己組織現象のシミュレーションと圧力変化による六角パターン構造の制御

口頭（一般）  藤原一延, 亀山拓也, 多田静香, 久保田悠揮, 向川政治, 高木浩一

第68回応用物理学会東北支部学術講演会  (山形大学工学部米沢キャンパス（山形県）) 

2013年12月

　

　

BSO結晶を用いた自己組織化マイクロギャップ誘電体バリア放電の表面電荷測定

口頭（一般）  高橋諒太, 向川政治, 高木浩一

第68回応用物理学会東北支部学術講演会  (山形大学工学部米沢キャンパス（山形県）) 

2013年12月

　

　

LiNbO3チップを用いた模擬雷電流周囲の電界測定

口頭（一般）  大上智紀, 村上裕貴彦, 角田祥, 向川政治, 高木浩一

第68回応用物理学会東北支部学術講演会  (山形大学工学部米沢キャンパス（山形県）) 

2013年12月

　

　

誘電体バリア放電型RFプラズマへの水分子の導入と高分子材料表面処理

口頭（一般）  金谷淳史, 高橋祥大, 山下寛人, 向川政治, 高木浩一

第68回応用物理学会東北支部学術講演会  (山形大学工学部米沢キャンパス（山形県）) 

2013年12月

　

　

BSO結晶を用いた自己組織化マイクロギャップ誘電体バリア放電の表面電荷密度測定

口頭（一般）  高橋諒太，松田紘和，亀山拓也，向川政治，高木浩一，藤原民也

第74回応用物理学会秋季学術講演会  (同志社大学京田辺キャンパス（京都府）) 

2013年09月

　

　

メッシュ浮遊電極が高周波大気圧誘電体バリア放電に及ぼす影響

口頭（一般）  山下寛人，金谷淳史，高橋祥大，向川政治，高木浩一，藤原民也

電気関係学会東北支部大会連合大会  (会津大学（福島県）) 

2013年08月

　

　

He/O2混合ガスを用いた大気圧RFプラズマによる高分子材料表面処理

口頭（一般）  高橋祥大，金谷淳史，山下寛人，向川政治，高木浩一，藤原民也

電気関係学会東北支部大会連合大会  (会津大学（福島県）) 

2013年08月

　

　

誘電体バリア放電の自己組織現象における誘電体厚さの影響

口頭（一般）  亀山拓也，久保田悠揮，多田静香，藤原一延，向川政治，高木浩一，藤原民也

電気関係学会東北支部大会連合大会  (会津大学（福島県）) 

2013年08月

　

　

Production of Titanium Containing Carbon Plasma Using Shunting Arc Discharge and Its Probe Measurement

ポスター（一般）  R. Mikawa, K. Takahashi, S. Mukaigawa, K. Takaki

第30回プラズマプロセシング研究会 (SPP-30)  (浜松研修交流センター) 

2013年01月

　

　

OH Termination of Organic Material Surface Using Radio Frequency Atmospheric Pressure Plasmas in Humidity-Controlled Environments

ポスター（一般）  T. Sato, A. Kanaya, H. Yamashita, S. Mukaigawa, K. Takaki, T. Fujiwara

第30回プラズマプロセシング研究会 (SPP-30)  (浜松研修交流センター) 

2013年01月

　

　

Simulation of Microgap DBD by the Reaction-diffusion Model and Control of Hexagonal Patterns

ポスター（一般）  R. Odagiri, T. Sato, K. Fujiwara, Y. Kubota, S. Tada, S. Mukaigawa, K. Takaki, T. Fujiwara

第30回プラズマプロセシング研究会 (SPP-30)  (浜松研修交流センター) 

2013年01月

　

　

自己組織化マイクロプラズマの生成とMgO層の効果

口頭（一般）  多田静香, 久保田悠揮, 藤原一延, 小田桐諒, 向川政治, 高木浩一, 藤原民也

第67回応用物理学会東北支部学術講演会  (東北大学金属材料研究所) 

2012年12月

　

　

雷サージ電流計測に関する基礎的研究

口頭（一般）  滝田耕平, 千葉茂樹, 向川政治, 岡英夫, 長田洋

第67回応用物理学会東北支部学術講演会  (東北大学金属材料研究所) 

2012年12月

　

　

誘電体バリア放電型高周波大気圧プラズマにおけるメッシュ電極の効果

口頭（一般）  山下寛人, 金谷淳史, 佐藤拓也, 向川政治, 高木浩一, 藤原民也

第67回応用物理学会東北支部学術講演会  (東北大学金属材料研究所) 

2012年12月

　

　

大気圧マイクロギャップ放電の放電タイミング制御と並列化

口頭（一般）  久保田悠揮 ,多田静香, 藤原一延, 小田桐諒, 向川政治, 高木浩一, 藤原民也

第67回応用物理学会東北支部学術講演会  (東北大学金属材料研究所) 

2012年12月

　

　

Surface Charge Measurement In Micro-Gap Dielectric Barrier Discharge using BSO Crystals

ポスター（一般）  H. Matsuda, R. Takahashi, H. Fue, S. Mukaigawa, K. Takaki, T. Fujiwara

11th APCPST (Asia Pacific Conference on Plasma Science and Technology) and 25th SPSM (Symposium on Plasma Science for Materials)  (Kyoto, Japan) 

2012年10月

　

　

Structure Control of Hexagonal Patterns in Microgap Dielectric Barrier Discharge

ポスター（一般）  S. Mukaigawa, T. Sato, R. Odagiri, K. Fujiwara, Y. Kubota, S. Tada, K. Takaki, T. Fujiwara

11th APCPST (Asia Pacific Conference on Plasma Science and Technology) and 25th SPSM (Symposium on Plasma Science for Materials)  (Kyoto, Japan) 

2012年10月

　

　

BSO結晶を用いた誘電体表面電荷密度測定の精度向上と時間・空間分解能

口頭（一般）  高橋諒太，松田紘和，向川政治，高木浩一，藤原民也

平成２４年度電気関係学会東北支部大会連合大会  (秋田県立大学) 

2012年08月

　

　

大気圧RFプラズマを用いた高分子材料表面処理におけるバリア容量の効果

口頭（一般）  金谷淳史，佐藤拓也，山下寛人，向川政治，高木浩一，藤原民也

平成２４年度電気関係学会東北支部大会連合大会  (秋田県立大学) 

2012年08月

　

　

Measurement of Heat Flux from Atmospheric Pressure Plasma Jets to Substrate Using Litiumniobate Interferometer

ポスター（一般）  T. Shimokawara, S. Mukaigawa, Y. Shida, K. Takahashi, K. Takaki, T. Fujiwara

The IUMRS International Conference in Asia  (Nagoya, Japan) 

2008年12月

　

　

Material Research Society of Japan

Optimization of Circuit Parameter on Capacitor Discharge Joining System

ポスター（一般）  N. Yamagishi, Y. Shida, K. Takahashi, S. Mukaigawa, K. Takaki, T. Fujiwara

The IUMRS International Conference in Asia  (Nagoya, Japan) 

2008年12月

　

　

Material Research Society of Japan

NH3 プラズマを用いたLow-k 薄膜の窒化の研究

口頭（一般）  及川勇太，向川政治，藤原民也，木村大自，茅場靖剛，吉川公麿

応用物理学会東北支部第63回学術講演会  (東北大学) 

2008年12月

　

　

応用物理学会

大気圧におけるマイクロギャップ誘電体バリア放電の自己組織構造

口頭（一般）  阿部光良，伊藤寛，志田寛，向川政治，高木浩一，藤原民也

応用物理学会東北支部第63回学術講演会  (東北大学) 

2008年12月

　

　

応用物理学会

Improvement of Edible Mushroom Yield by Electric Stimulations

口頭（一般）  K. Takaki, N. Yamazaki, S. Mukaigawa, T. Fujiwara, H. Kofujita. K. Takahasi, M. Narimatsu, K. Nagane

2nd Euro-Asian Pulsed Power Conference  (Vilnius, Lithuania) 

2008年09月

　

　

Improvement of Edible Mushroom Yield by Electric Stimulations

口頭（一般）  K. Takaki, N. Yamazaki, S. Mukaigawa, T. Fujiwara, H. Kofujita. K. Takahasi, M. Narimatsu, K. Nagane

ICCP2008 Satellite Meeting on Plasma Physics and Advanced Applications  (Aso, Japan) 

2008年09月

　

　

Improvement of Edible Mushroom Yield by Electric Stimulations

ポスター（一般）  K. Takaki, N. Yamazaki, S. Mukaigawa, T. Fujiwara, H. Kofujita. K. Takahasi, M. Narimatsu, K. Nagane

14th International Congress on Plasma Physics 2008  (Fukuoka, Japan) 

2008年09月

　

　

The Japan Society of Plasma Science and Nuclear Fusion Research

Influence of NO Concentration on Removal Efficiency in Multipoint-to-Plane Electrode Dielectric Barrier Discharge Reactor

ポスター（一般）  K. Takaki, T. Sato, S. Mukaigawa, T. Fujiwara, T. Miura

14th International Congress on Plasma Physics  (Fukuoka, Japan) 

2008年09月

　

　

The Japan Society of Plasma Science and Nuclear Fusion Research

Water Purification Using Non-thermal Plasma Driven by Blumlein-line Stacked Pulsed Power Generator

ポスター（一般）  K. Takahashi, S. Mukaigawa, K. Takaki, T. Fujiwara, N. Satta

14th International Congress on Plasma Physics   (Fukuoka, Japan) 

2008年09月

　

　

The Japan Society of Plasma Science and Nuclear Fusion Research.

Water Purification Using Non-thermal Plasma Driven by Blumlein-line Stacked Pulsed Power Generator

口頭（一般）  K. Takahashi, S. Mukaigawa, K. Takaki, T. Fujiwara, N. Satta

International Interdisciplinary-Symposium on Gaseous and Liquid Plasmas  (Sendai, Japan) 

2008年09月

　

　

Sendai Plasma Forum

シャンティングアークを用いた混合プラズマの生成とプラズマイオン注入によるTi－DLC成膜

口頭（一般）  村上貴之，高橋和貴，向川政治，高木浩一，藤原民也

電気関係学会東北支部大会連合大会  (日本大学工学部) 

2008年08月

　

　

電気学会・電子情報通信学会・照明学会・日本音響学会・映像情報メディア学会・情報処理学会・電気設備学会（各東北支部）・IEEE SENDAI SECTION

Density profile of a magnetically expanding plasma using permanent-magnet arrays

口頭（一般）  佐々木 智世，高橋和貴，向川政治，高木浩一，藤原民也

電気関係学会東北支部大会連合大会  (日本大学工学部) 

2008年08月

　

　

電気学会・電子情報通信学会・照明学会・日本音響学会・映像情報メディア学会・情報処理学会・電気設備学会（各東北支部）・IEEE SENDAI SECTION

Basic characteristics of an expanding plasma using permanent magnets

口頭（一般）  小国薫，高橋和貴，向川政治，高木浩一，藤原民也

電気関係学会東北支部大会連合大会  (日本大学工学部) 

2008年08月

　

　

電気学会・電子情報通信学会・照明学会・日本音響学会・映像情報メディア学会・情報処理学会・電気設備学会（各東北支部）・IEEE SENDAI SECTION

パルス通電セラミックス接合法における回路パラメータの影響

口頭（一般）  山岸則之，高橋和貴，向川政治，高木浩一，藤原民也

電気関係学会東北支部大会連合大会  (日本大学工学部) 

2008年08月

　

　

電気学会・電子情報通信学会・照明学会・日本音響学会・映像情報メディア学会・情報処理学会・電気設備学会（各東北支部）・IEEE SENDAI SECTION

LiNbO3結晶を用いた大気圧ジェットプラズマから基板への熱流束の測定,

口頭（一般）  下河原 孝夫，向川政治，志田 寛，高橋和貴，高木浩一，藤原民也

電気関係学会東北支部大会連合大会  (日本大学工学部) 

2008年08月

　

　

電気学会・電子情報通信学会・照明学会・日本音響学会・映像情報メディア学会・情報処理学会・電気設備学会（各東北支部）・IEEE SENDAI SECTION

大気圧プラズマジェットにおける湿度の影響

口頭（一般）  伊藤 寛，北慎勇希，志田 寛，高橋和貴，向川政治，高木浩一，藤原民也

電気関係学会東北支部大会連合大会  (日本大学工学部) 

2008年08月

　

　

電気学会・電子情報通信学会・照明学会・日本音響学会・映像情報メディア学会・情報処理学会・電気設備学会（各東北支部）・IEEE SENDAI SECTION

バリア放電を用いたNO除去におけるガス条件が与える影響

口頭（一般）  内藤 潤，高橋和貴，向川政治，高木浩一，藤原民也，三浦友規

電気関係学会東北支部大会連合大会  (日本大学工学部) 

2008年08月

　

　

電気学会・電子情報通信学会・照明学会・日本音響学会・映像情報メディア学会・情報処理学会・電気設備学会（各東北支部）・IEEE SENDAI SECTION

誘電体バリア放電方式を用いたオゾン生成特性

口頭（一般）  畑中友貴，高橋和貴，向川政治，高木浩一，藤原民也，三浦友規

電気関係学会東北支部大会連合大会  (日本大学工学部) 

2008年08月

　

　

電気学会・電子情報通信学会・照明学会・日本音響学会・映像情報メディア学会・情報処理学会・電気設備学会（各東北支部）・IEEE SENDAI SECTION

パックドベッドプラズマリアクタの誘電体ペレット材質の影響

口頭（一般）  高橋慎哉，高橋和貴，向川政治，高木浩一，藤原民也，菅原拓男，菅原勝康

電気関係学会東北支部大会連合大会  (日本大学工学部) 

2008年08月

　

　

電気学会・電子情報通信学会・照明学会・日本音響学会・映像情報メディア学会・情報処理学会・電気設備学会（各東北支部）・IEEE SENDAI SECTION

パルス電気刺激を用いた食用きのこの増産

口頭（一般）  山崎信幸，高橋和貴，向川政治，高木浩一，藤原民也，小藤田久義，高橋久祐，成松眞樹，長根健一

電気関係学会東北支部大会連合大会  (日本大学工学部) 

2008年08月

　

　

電気学会・電子情報通信学会・照明学会・日本音響学会・映像情報メディア学会・情報処理学会・電気設備学会（各東北支部）・IEEE SENDAI SECTION

パルスパワーを用いた高導電性汚水の浄化

口頭（一般）  高橋克幸，佐々木 由佳，向川政治，高木浩一，藤原民也，颯田尚哉

電気学会基礎・材料・共通部門大会  (千葉工業大学) 

2008年08月

　

　

電気学会

窒素雰囲気下コロナ放電イオナイザーにおける発生電荷種の検討

口頭（一般）  大久保 貴広，高橋和貴，池内 達，向川政治，高木浩一，藤原民也

電気関係学会東北支部大会連合大会  (日本大学工学部) 

2008年08月

　

　

電気学会・電子情報通信学会・照明学会・日本音響学会・映像情報メディア学会・情報処理学会・電気設備学会（各東北支部）・IEEE SENDAI SECTION

Influence of Pellet Shape of Ferro-Electric Packed-Bed Plasma Reactor on Ozone Synthesis and NO Removal

口頭（一般）  K. Takaki, S. Takahashi, S. Mukaigawa, T. Fujiwara, K. Sugawara, T. Sugawara

The 6th International Symposium on Non-Thermal Plasma Technology  (Taipei, Taiwan) 

2008年05月

　

　

International Electrostatics Assembly

Ozone Synthesis by Inductive Storage Energy System Pulsed Power Generator

ポスター（一般）  K. Takaki, Y. Tanaka, S. Mukaigawa, T. Fujiwara, T. Go

The 6th International Symposium on Non-Thermal Plasma Technology  (Taipei, Taiwan) 

2008年05月

　

　

International Electrostatics Assembly

Water Purification Using Streamer Discharge by Pulsed Power

口頭（一般）  K. Takahashi, S. Mukaigawa, K. Takaki, T. Fujiwara, N. Satta

The 6th International Symposium on Non-Thermal Plasma Technology  (Taipei, Taiwan) 

2008年05月

　

　

International Electrostatics Assembly

Organic materials surface hydrophilic control using an atmospheric pressure plasma jet

ポスター（一般）  H. Ito, K. Nawa, H. Kirihara, S. Mukaigawa, K. Takaki, T. Fujiwara

the 18th International Symposium on Plasma Chemistry (ISPC19)  (Kyoto) 

2007年08月

　

　

Influence of streamer-to-glow transition in NOx removal using pulsed power generator with SOS diodes

ポスター（一般）  K. Takaki, K. Kanesawa, S. Mukaigawa, T. Fujiwara, T. Go

the 18th International Symposium on Plasma Chemistry (ISPC19)  (Kyoto) 

2007年08月

　

　

Influence of NO initial concentration on removal efficiency in dielectric barrier discharge reactor

ポスター（一般）  T. Sato, S. Mukaigawa, K. Takaki, T. Fujiwara

18th International Symposium on Plasma Chemistry (ISPC19)  (Kyoto) 

2007年08月

　

　

Ozone production using dielectric barrier discharge reactor driven by pulse generator

ポスター（一般）  K. Takaki, T. Sato, K. Arima, S. Mukaigawa, T. Fujiwara, T. Miura

the 18th International Symposium on Plasma Chemistry (ISPC19)  (Kyoto) 

2007年08月

　

　

Energy control of microplasma by quenching capacitor

ポスター（一般）  K. Takaki, T. Sasaki, S. Mukaigawa, T. Fujiwara, H. Mase, N. Sato

the 18th International Symposium on Plasma Chemistry (ISPC19)  (Kyoto) 

2007年08月

　

　

Effect of micro hydrodynamical flow in microgap discharge at atmospheric pressure

ポスター（一般）  K. Nawa, H. Ito, H. Kirihara, J. Yamamoto, T. Aizawa, Y. Shida, S. Mukaigawa, K. Takaki, T. Fujiwara

the 18th International Symposium on Plasma Chemistry (ISPC19) 

2007年08月

　

　

Application of IES Pulsed Power Generator for Mushroom Cultivation

ポスター（一般）  K. Takaki, K. Kanesawa, N. Yamazaki, S. Mukaigawa, T. Fujiwara, K. Takahasi, K. Yamasita, K. Nagane

International Workshop on Bioelectrics 2007 

2007年02月

　

　

Production of carbon contained nitrogen plasma using shunting arc discharge for carbon nitride film preparation

ポスター（一般）  K.Imanishi, O.Kumagai, S.Mukaigawa, T.Takaki, T,Fujiwara, K.Yukimura, Y. Suda

The 13th Asian Conference on Electrical Discharge  (Sapporo) 

2006年10月

　

　

NO removal using multipoint-to-plane DBD ozone injector

ポスター（一般）  T. Sato, K. Arima, S. Mukaigawa, K. Takaki, T. Fujiwara

The 13th Asian Conference on Electrical Discharge (ACED2006)  (Sapporo) 

2006年10月

　

　

Influence of Primary Capacitor Capacitance on NOx Removal Using Non-Thermal Plasma Reactor Driven by Inductive Energy Storage System

ポスター（一般）  K. Takaki, K. Kanesawa, S. Sawada, T. Sasaki, S. Mukaigawa, T. Fujiwara

The First Euro-Asian Pulsed Power Conference (EAPPC06)  (Chengdu, China) 

2006年09月

　

　

Production of Carbon Contained Nitrogen Plasma Using Shunting Arc Discharge for Carbon Nitride Film Preparation

口頭（一般）  K. Takaki, K. Imanishi, O. Kumagai, S. Mukaigawa, T. Fujiwara, Y. Suda, K. Yukimura

The First Euro-Asian Pulsed Power Conference (EAPPC06)  (Chengdu, China) 

2006年09月

　

　

Influence of Streamer-to-Glow Transition on NO Removal in Non-Thermal Plasma Reactor

ポスター（一般）  K. Takaki, K. Kanesawa, S. Sawada, T. Sasaki, S. Mukaigawa, T. Fujiwara

The Progress of Green Oxidation/Reduction Technologies (AP-AWTGORT)  (Dalian, China) 

2006年09月

　

　

Ozone Production Efficiency Using Dielectric Barrier Discharge Driven by Pulse Generator

口頭（一般）  K. Takaki, T. Sato, K. Arima, S. Mukaigawa, T. Fujiwara, T. Miura

The Progress of Green Oxidation/Reduction Technologies (AP-AWTGORT)  (Dalian, China) 

2006年09月

　

　

Production of carbon contained nitrogen plasma using shunting arc discharge for carbon nitride film preparation

ポスター（一般）  24. K.Imanishi, O.Kumagai, S.Mukaigawa, T.Takaki, T.Fujiwara, K.Yukimura, Y.Suda

13th Asian Conference on Electrical Discharge  (Hokkaido Univ. Sapporo, Japan) 

2006年08月

　

　

Production of Atmospheric-Pressure Glow Using Inductive Energy Storage System Pulsed Power Generator

ポスター（一般）  K. Takaki, H. Kirihara, C. Noda, S. Mukaigawa, T. Fujiwara

International Power Modulator Conference  (Washington DC, USA) 

2006年05月

　

　

Influence of gas flow on self-organization of micro-gap atmospheric-pressure glow discharge

ポスター（一般）  S. Mukaigawa, T. Aizawa, K. Takaki, T. Fujiwara

3rd International Workshop on Microplasma, Greifswald  (Greifswald, Germany) 

2006年05月

　

　

Self-quenching chracteristics of capacity-coupled discharge in atmospheric air

ポスター（一般）  K. Takaki, R. Ohmukai, S. Mukaigawa, T. Fujiwara, H. Mase, N. Sato

3rd International Workshop on Microplasma  (Greifswald, Germany) 

2006年05月

　

　

Production of shunting arc based hybrid plasma for amorphous carbon nitride film preparation

ポスター（一般）  K.Takaki, O.Kumagai, S.Mukaigawa, T.Fujiwara, Y.Suda, K.Yukimura

The 6th International Conference on Reactive Plasmas and 23rd Symposium on Plasma Processing  (Matsushima/Sendai) 

2006年01月

　

　

Production of large current pulse glow discharge in atmospheric pressure nitrogen using needle-array electrode

ポスター（一般）  K.Takaki, H.Kirihara, C.Noda, S.Mukaigawa, T.Fujiwara

The 6th International Conference on Reactive Plasmas and 23rd Symposium on Plasma Processing  (Matsushima/Sendai) 

2006年01月

　

　

Effect of dielectric mesh for RF plasma nitridation of methylsilsesquioxiane(MSQ) low dielectric films

ポスター（一般）  S.Mukaigawa, Y.Ito, K.Takaki, T.Fujiwara, S.Kuroki, K.Isari, S.Yokoyama, T.Kikkawa

The 6th International Conference on Reactive Plasmas and 23rd Symposium on Plasma Processing  (Matsushima/Sendai) 

2006年01月

　

　

Ceramics Joining Using Exploding Metal Foil in Atmospheric Pressure Air

ポスター（一般）  K.Takaki, Y. Mikami, M. Itagaki, S. Mukaigawa, T. Fujiwara

Post APSPT-4 Conference  (Arisan, Taiwan) 

2005年12月

　

　

Self-organization of microgap atmospheric-pressure glow discharge

ポスター（一般）  T.Aizawa, S,Mukaigawa, K.Takaki, J.Echigoya, T.Fujiwara

The 4th Asia-Pacific International Symposium on the Basic and Applications of Plasma Science and Technology (APSPT-4)  (Douliou, Taiwan) 

2005年12月

　

　

Production of high-density atmospheric-pressure plasma using capacity-coupled multidischarge

ポスター（一般）  R.Ohmukai, S.Mukaigawa, K.Takaki, T.Fujiwara, H.Mase, N.Sato

The 4th Asia-Pacific International Symposium on the Basic and Applications of Plasma Science and Technology (APSPT-4)  (Douliou, Taiwan) 

2005年12月

　

　

Optimization of projection arrangement on electrode for ozon production with high yielding rate

ポスター（一般）  K.Takaki, K.Arima, M.Shimizu, S.Mukaigawa, T,Fujiwara

The 11th International Conference on Advanced Oxidation Technologies for Treatment of Water, Air and Soil (AOTs-11)   (Chicago, USA) 

2005年10月

　

　

Shunting arc-produced hybrid plasma and its magnetic drive for PBII&D

口頭（一般）  K.Takaki, S.Mukaigawa, T.Fujiwara, K.Yukimura

The 8th International Workshop on Plasma-based Ion Implantation and Deposition (PBII&D2005)  (Chengdu, China) 

2005年09月

　

　

Ion Extraction from Magnetical Driven Shunting Arc and Measurement of Plasma Density at Sheath Boundary

口頭（一般）  T.Fujiwara, O.Kumagai, S.Mukaigawa, K.Takaki, K.Yukimura

The 8th International Workshop on Plasma-based Ion Implantation and Deposition (PBII&D2005)  (Chengdu, China) 

2005年09月

　

　

Improvement of Ozone Yielding Rate in Atmospheric Pressure Barrier Discharges Using Multipoint Electrode

口頭（一般）  K. Takaki, K. Arima, S. Mukaigawa, T. Fujiwara, M. Shimizu

第18回プラズマ材料科学シンポジウム（SPSM-18）  (東京大学山上会館) 

2005年06月

　

　

Pulsed Ion Extraction from Shunting Arc Assisted Burst RF (195 kHz) Plasma

口頭（一般）  K. Yukimura, K. Ego, K. Takaki, S. Mukaigawa and T. Fujiwara

IEEE International Conference on Plasma Science  (Monterey, USA) 

2005年06月

　

　

Ceramics Joining Using Explosive Metal Foil

口頭（一般）  K. Takaki, S. Nakamura, Y. Mikami, M. Itagaki, S. Mukaigawa, T. Fujiwara

15th IEEE International Pulsed Power Conference  (Monterey, USA) 

2005年06月

　

　

Characteristics of Capacity-Coupled Multi-Discharge

口頭（一般）  K. Takaki, R. Ohmukai, S. Mukaigawa, T. Fujiwara, T. Miura, H. Mase, N. Sato

Plasma Science Symposium 2005/ The 22th Symposium on Plasma Processing  (Nagoya) 

2005年01月

　

　

Energy Control of Microplasma by Self-Quenching Capacitor

ポスター（一般）  K. Takaki, T. Miura, R. Ohmukai, S. Mukaigawa, T. Fujiwara, H. Mase, N. Sato

2nd International Workshop on Microplasmas  (Hoboken, NJ, USA) 

2004年10月

　

　

Amorphous carbon film deposition by PBII&D using shunting arc discharge

口頭（一般）  K. Yukimura, K. Ego, K. Takaki, S. Mukaigawa, T. Fujiwara

14th International Conference on Ion Beam Modification of Materials (IBMM)  (California, USA) 

2004年09月

　

　

Carbon ion extraction from magnetically driven shunting arc plasma

口頭（一般）  K. Takaki, O. Kumagai, S. Nakamura, S. Mukaigawa, T. Fujiwara, K. Yukimura

14th International Conference on Ion Beam Modification of Materials (IBMM)  (California, USA) 

2004年09月

　

　

Magnetically Drive of Shunting Arc Plasma and Amorphous Carbon Film Preparation

ポスター（一般）  K. Takaki, O. Kumagai, S. Nakamura, R. Hasegawa, S. Mukaigawa, T. Fujiwara, M. Kumagai, K. Yukimura

7th Asia Pacific Conference on Plasma Science and Technology  (Fukuoka) 

2004年06月

-

2004年07月

Measurement of Radio Frequency Discharge Power and Heat Flux Distribution

ポスター（一般）  S. Mukaigawa, K. Hachiya, K. Ebe, K. Takaki, T. Fujiwara

7th Asia Pacific Conference on Plasma Science and Technology  (Fukuoka) 

2004年06月

-

2004年07月

Production of Atmospheric-Pressure Glow Discharge in Nitrogen Using Needle-Array Electrode

口頭（一般）  K. Takaki, M. Hosokawa, T. Sasaki, S. Mukaigawa and T. Fujiwara

7th Asia Pacific Conference on Plasma Science and Technology  (Fukuoka) 

2004年06月

-

2004年07月

Generation of Magnetically Driven Shunting Arc Discharge and Amorphous Carbon Film Preparation

口頭（一般）  K. Yukimura, M. Kumagai, K. Takaki, S. Mukaigawa, T. Fujiwara

31th IEEE International Conference on Plasma Science (ICOPS)  (Baltimore, USA) 

2004年06月

-

2004年07月