研究発表 - 向川 政治
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大気圧ヘリウムマイクロギャップDBD における自己組織構造と放電開始電圧
口頭（一般） 狩野遼也 , 高橋克幸 , 高木浩一 , 向川政治
応用物理学会東北支部第7 8 回学術講演会 (アイーナ岩手県民情報交流センター)
2023年12月応用物理学会
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大電力パルススパッタリングのガス種依存性
口頭（一般） 五十嵐爽斗 , 佐藤太進 , 高橋克幸 , 向川政治 , 高木浩一
応用物理学会東北支部第7 8 回学術講演会 (アイーナ岩手県民情報交流センター)
2023年12月応用物理学会
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誘導結合プラズマのE H モード遷移におけるファラデーシールドの影響
口頭（一般） 中村瑞希 , 高橋響 , 高橋克幸 , 高木浩一 , 鎌田貴晴 , 向川政治
応用物理学会東北支部第7 8 回学術講演会 (アイーナ岩手県民情報交流センター)
2023年12月応用物理学会
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擬火花放電プラズマCVD法による水素化アモルファスカーボン膜の成膜
口頭（一般） 月舘悠斗、鎌田貴晴、渡部政行、中村嘉孝、角館俊行、向川政治
第40回 プラズマ・核融合学会 年会 (アイーナ岩手県民情報交流センター)
2023年11月プラズマ・核融合学会
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Observation of argon plasma driven by 150 kHz band high power burst pulse voltage
ポスター（一般） K. Takahashi, N. Takahashi, H. Suenaga, S. Mukaigawa, K. takaki
The 44th International Symposium on Dry Process (DPS2023) (Winc Aichi, Nagoya, Japan)
2023年11月応用物理学会
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Production of High-Density Plasma by 150 kHz Band Burst Pulse for One-Inch Etching Process
口頭（一般） Koichi Takaki, Naohiro Takahashi, Katsuyuki Takahash, Seiji Mukaigawa
The 7th Taiwan-Japan Workshop on Plasma Life Science and Technology (National Yang Ming Chiao Tung University, Hsinchu, Taiwan)
2023年10月 -
温度測定によるマイクロ波伝送損失の推定とプラズマ 投入電力
口頭（一般） 佐々木善太朗、目時健吾、 鎌田貴晴、高橋克幸、高木浩一、 向川政治
2023 年度電気関係学会東北支部連合大会 (岩手県立大学)
2023年09月電気学会・電子情報通信学会・照明学会・日本音響学会・映像情報メディア学会・情報処理学会・電気設備学会（各東北支部）・IEEE Sendai Section
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誘導結合プラズマおけるファラデーシールドによるE モード放電の抑制
口頭（一般） 中村瑞希、高橋 響、鎌田貴晴、 高橋克幸、高木浩一、向川 政治
2023 年度電気関係学会東北支部連合大会 (岩手県立大学)
2023年09月電気学会・電子情報通信学会・照明学会・日本音響学会・映像情報メディア学会・情報処理学会・電気設備学会（各東北支部）・IEEE Sendai Section
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Filamentation of 2.45-GHz microwave discharge plasmas in sub-atmospheric pressure
ポスター（一般） Zentarou Sasaki, Tsubasa Saito, Takaharu Kamada, Katsuyuki Takahashi, Koichi Takaki, Seiji Mukaigawa
25th International Symposium on Plasma Chemistry (ISPC25) (Miyako Messe, Kyoto, Japan)
2023年05月 -
大電力パルススパッタリングにおける放電特性のガス種依存性
口頭（一般） 佐藤太進，高橋克幸，向川政治，高木浩一
2022 年度核融合科学研究所共同研究形式研究会 (オンライン)
2023年01月-2023年10月核融合科学研究所
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準大気圧マイクロ波放電によるフィラメント状プラズマの生成とPPCへの応用
口頭（一般） 佐々木善太朗, 鎌田貴晴, 高橋克幸, 高木浩一, 向川政治
2022 年度核融合科学研究所共同研究形式研究会 (オンライン)
2023年01月-2023年10月核融合科学研究所
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大気圧窒素マイクロギャップ誘電体バリア放電における自己組織構造の観測と制御
口頭（一般） 赤石 崚太, 高橋 克幸, 高木浩一, 向川政治
2022 年度核融合科学研究所共同研究形式研究会 (オンライン)
2023年01月-2023年10月核融合科学研究所
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150 kHz 帯大電力パルスバースト型誘導性結合 Ar プラズマの放電観測
口頭（一般） 末永光 ，菊池尚希 ，高橋克幸，向川政治，高木浩一
応用物理学会東北支部第７７回学術講演会 (東北大学片平キャンパス（宮城県）)
2022年12月応用物理学会
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誘導結合プラズマの E-H モード遷移における直列容量の影響
口頭（一般） 高橋響，中村瑞希，鎌田貴晴，高橋克幸，高木浩一，向川政治
応用物理学会東北支部第７７回学術講演会 (東北大学片平キャンパス（宮城県）)
2022年12月応用物理学会
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BSO 結晶を用いた基板表面電荷分布の時間発展の測定
口頭（一般） 後藤優太，岩渕将士，神原秀也，高椅克幸，高木浩一，向川政治
応用物理学会東北支部第７７回学術講演会 (東北大学片平キャンパス（宮城県）)
2022年12月応用物理学会
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BSO 結晶による自己組織化誘電体バリア放電の表面電荷測定
口頭（一般） 神原秀也 ，後藤優太 ，高橋克幸 ，高木浩一 ，向川政治
応用物理学会東北支部第７７回学術講演会 (東北大学片平キャンパス（宮城県）)
2022年12月応用物理学会
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Generation of 2.45-GHz microwave plasma filament in sub-atmospheric pressure
口頭（一般） Zentarou Sasaki, Tsubasa Saito, Takaharu Kamada, Katsuyuki Takahashi, Koichi Takaki, Seiji Mukaigawa
11th International Conference on Reactive Plasmas, Gaseous Electronics Conference 2022(ICRP-11/GEC 2022/SPP-40/SPSM35) (仙台国際センター（日本、宮城県）)
2022年10月応用物理学会、アメリカ物理学会
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Characteristics of DLC films deposited by pseudo-spark discharge PE-CVD with different substrate bias voltages
口頭（一般） Takaharu Kamada, Masayuki Watanabe, Yoshitaka Nakamura, Seiji Mukaigawa
11th International Conference on Reactive Plasmas, Gaseous Electronics Conference 2022(ICRP-11/GEC 2022/SPP-40/SPSM35) (仙台国際センター（日本、宮城県）)
2022年10月応用物理学会、アメリカ物理学会
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Observation of the stripe and filamentary self-organized structure of atmospheric pressure nitrogen microgap dielectric barrier discharge
口頭（一般） Ryota Akaishi, Ryoya Karino, Katuyuki Takahashi, Koichi Takaiki, Seiji Mukaigawa
11th International Conference on Reactive Plasmas, Gaseous Electronics Conference 2022(ICRP-11/GEC 2022/SPP-40/SPSM35) (仙台国際センター（日本、宮城県）)
2022年10月応用物理学会、アメリカ物理学会
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Optimization of Pseudo spark discharge electrode geometry
口頭（一般） 月舘 悠斗, 鎌田 貴晴, 渡部 政行, 中村 嘉孝, 角館 俊行, 向川 政治
2022年度電気関係学会東北支部連合大会 (オンライン)
2022年08月電気学会