研究発表 - 向川　政治

デュアルHiPIMSの基礎特性とDLC成膜への応用

口頭（一般）  高橋睦美，高橋克幸，高木浩一，向川政治，行村建

応用物理学会東北支部第73回学術講演会  (東北大学（宮城県）) 

2018年12月

　

　

応用物理学会

誘電体バリア放電における二次電子放出係数の活性化エネルギー

口頭（一般）  佐藤 優、渥美 風紀、増山 静香、志田 寛、向川 政治、高木 浩一

応用物理学会東北支部第73回学術講演会  (東北大学（宮城県）) 

2018年12月

　

　

応用物理学会

回路インピーダンス測定に基づく誘導結合プラズマの密度測定

口頭（一般）  松原 翔、山田健太、鎌田貴晴、志田 寛、高橋克幸、向川政治、高木浩一

応用物理学会東北支部第73回学術講演会  (東北大学（宮城県）) 

2018年12月

　

　

応用物理学会

斜め入射方式によるBSO結晶を用いた 表面電荷測定法の確立

口頭（一般）  釜渕靖大, 鎌田貴晴, 高橋克幸, 向川政治, 高木浩一

応用物理学会東北支部第73回学術講演会  (東北大学（宮城県）) 

2018年12月

　

　

応用物理学会

自己整合的流体モデルによる誘導結合プラズマのE-H遷移の数値計算

口頭（一般）  西村 康太郎、松原 翔、向川 政治、高木 浩一

応用物理学会東北支部第73回学術講演会  (東北大学（宮城県）) 

2018年12月

　

　

応用物理学会

150 kHz帯大電力バーストパルス ICP によるシリコンウエハエッチング

口頭（一般）  柴田晃大,高橋克幸,向川政治,高木浩一,行村　建,小木曽久人,中野　禅

電気学会放電プラズマパルスパワー合同研究会  (大分大学（大分県）) 

2018年10月

　

　

電気学会

Application of time evolution global model to a radio-frequency discharge plasma

口頭（一般）  後藤　亮，安藤　晃，西村康太郎，向川政治

平成30年度電気関係学会東北支部連合大会  (岩手大学（岩手県）) 

2018年09月

　

　

電気学会等

BSO結晶を用いた斜め入射方式による表面電荷測定法の確立

口頭（一般）  釜渕靖大，菊池啓太，鎌田貴晴，向川政治，高木浩一

平成30年度電気関係学会東北支部連合大会  (岩手大学（岩手県）) 

2018年09月

　

　

電気学会等

誘電体バリア放電における二次電子放出係数の活性化エネルギー

口頭（一般）  佐藤　優，渥美風紀，多田静香，向川政治，高木浩一

平成30年度電気関係学会東北支部連合大会  (岩手大学（岩手県）) 

2018年09月

　

　

電気学会等

容量結合方式によるマイクロギャップ自己組織化誘電体バリア放電の可変構造制御

口頭（一般）  向川政治,小國恭平,畠山大輝,横田敦也,高橋克幸,高木浩一

電気学会放電/プラズマ・パルスパワー合同研究会  (山形大学（山形県）) 

2018年05月

　

　

電気学会

150 kHz帯大電力パルスバースト型誘導性結合プラズマのグローバル・モデル解析

口頭（一般）  齋藤雄真,柴田晃大,高橋克幸,向川政治,高木浩一,行村　建

電気学会放電/プラズマ・パルスパワー合同研究会  (山形大学（山形県）) 

2018年05月

　

　

電気学会

プラズマ環境下における基板の温度測定に向けたLiNbO3結晶による温度測定と結晶内縦方向温度分布の影響

口頭（一般）  岸　修人，向川政治，鎌田貴晴，高木浩一

応用物理学会東北支部第72回学術講演会  (秋田大学（秋田県）) 

2017年11月

-

2017年12月

応用物理学会

BSO結晶を用いた反射型レーザー干渉計における誘電体表面電荷測定と測定感度

口頭（一般）  菊池啓太、與羽利貴、向川政治、高木浩一

応用物理学会東北支部第72回学術講演会  (秋田大学（秋田県）) 

2017年11月

-

2017年12月

応用物理学会

マイクロギャップ誘電体バリア放電におけるフィラメント構造

口頭（一般）  小國恭平，向川政治，鎌田貴晴，高木浩一

応用物理学会東北支部第72回学術講演会  (秋田大学（秋田県）) 

2017年11月

-

2017年12月

応用物理学会

疑似一次元プラズマフォトニック結晶の透過率計算

口頭（一般）  宮下琢也，向川政治，高木浩一

応用物理学会東北支部第72回学術講演会  (秋田大学（秋田県）) 

2017年11月

-

2017年12月

応用物理学会

高周波大気圧誘電体バリア型放電プラズマのモード遷移

口頭（一般）  菅原純一, 久保田悠揮, 向川政治, 高木浩一

PLASMA CONFERENCE 2017（PLASMA 2017）  (姫路商工会議所（兵庫県）) 

2017年11月

　

　

応用物理学会　日本物理学会　プラズマ核融合学会

Characteristics of 150 kHz band high-power burst inductively coupled plasma

ポスター（一般）  K. Shibata, S. Konno, K. Takahashi, S. Mukaigawa, K. Takaki, K. Yukimura

The 39th International Symposium on Dry Process (DPS2017)   (Tokyo Institute of Technology, Japan) 

2017年11月

　

　

Influence of pulse width on DLC films deposited by HiPIMS

ポスター（一般）  M. Takahashi, H. Dendo, K. Takahashi, S. Mukaigawa, K. Takaki and K. Yukimura

The 39th International Symposium on Dry Process (DPS2017)   (Tokyo Institute of Technology, Japan) 

2017年11月

　

　

BSO結晶を用いた反射型レーザー干渉計における測定感度

口頭（一般）  菊池啓太、與羽利貴、鎌田貴晴、向川政治、高木浩一

平成29年度電気関係学会東北支部連合大会  (弘前大学（青森県）) 

2017年08月

　

　

電気学会等

バリア温度制御下における誘電体バリア放電の絶縁破壊機構

口頭（一般）  佐藤　優,　渥美風紀,　向川政治,　高木浩一

平成29年度電気関係学会東北支部連合大会  (弘前大学（青森県）) 

2017年08月

　

　

電気学会等