研究発表 - 向川 政治
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150 kHz帯⼤電⼒バースト型誘導性結合Arプラズマの電気的特性の時間分解計測
口頭（一般） 菊池尚希，齋藤雄真，⾼橋克幸，向川政治，⾼⽊浩⼀，⾏村 建
電気学会 放電・プラズマ・パルスパワー合同研究会 (オンライン)
2020年07月電気学会
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パルス大電力ペニング放電の電気的特性
口頭（一般） 阿部星輝,高橋克幸,向川政治,高木浩一,行村建
電気学会誘電・絶縁材料/放電・プラズマ・パルスパワー/高電圧合同研究会 (三菱電機健康保険組合湯布郷館（大分県）)
2020年01月電気学会
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Tuning E-mode discharge in inductively coupled plasma using an external capacitor
ポスター（一般） K. Matsubara, R. Miura, T. Kamada, K. Takahashi, S. Mukaigawa, K. Takaki
11th Asia-Pacific International Symposium on the Basics and Applications of Plasma Technology (APSPT-11) (The Kanazawa Chamber of Commerce & Industry, Kanazawa, Japan)
2019年12月 -
Tunable self-organized structure of dielectric barrier discharge by using capacity coupling
ポスター（一般） Hideki Sato, Sou Murakami, Seiji Mukaigawa, Katsuyuki Takahashi, Koichi Takaki
11th Asia-Pacific International Symposium on the Basics and Applications of Plasma Technology (APSPT-11) (The Kanazawa Chamber of Commerce & Industry, Kanazawa, Japan)
2019年12月 -
ファラデーシールドが及ぼす誘導結合プラズマのEモード抑制への影響
口頭（一般） 三浦廉, 松原翔, 鎌田貴晴, 向川政治, 高木浩一
応用物理学会東北支部第74回学術講演会 (日本大学（福島県）)
2019年12月応用物理学会
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LiNbO3レーザ干渉計における出力光波形の振幅変動とプラズマ環境下基板温度測定
口頭（一般） 西内祐哉, 鈴木悠介, 向川政治, 高木浩一
応用物理学会東北支部第74回学術講演会 (日本大学（福島県）)
2019年12月応用物理学会
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150kHz帯大電力バースト型誘導性結合Ar/CF4プラズマを用いたシリコンウエハエッチング
口頭（一般） 齋藤雄真，柴田晃大，高橋克幸，向川政治，高木浩一，行村建，小木曽久人，中野禅
令和元年 電気学会 基礎・材料・共通部門大会 (岩手大学（岩手県）)
2019年09月電気学会
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容量結合方式による誘電体バリア放電の自己組織化構造の連続制御
口頭（一般） 佐藤秀樹，村上創，小國恭平，向川政治， 高木浩一，高橋克幸
令和元年 電気学会 基礎・材料・共通部門大会 (岩手大学（岩手県）)
2019年09月電気学会
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Investigation of Plasma Parameters and Mode Transition in Inductively Coupled Plasma with Hydrogen＆Oxygen gases
口頭（一般） 武田一希，佐藤一真，渡辺政行，向川政治， 鎌田貴晴，中村嘉孝
令和元年 電気学会 基礎・材料・共通部門大会 (岩手大学（岩手県）)
2019年09月電気学会
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擬火花放電プラズマCVD法によるDLC膜特性に及ぼす基板バイアスの効果
口頭（一般） 佐藤一真，武田一希，中村嘉孝，渡部政行，向川政治，鎌田貴晴
令和元年 電気学会 基礎・材料・共通部門大会 (岩手大学（岩手県）)
2019年09月電気学会
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反応拡散方程式に基づく容量結合方式誘電体バリア 放電における格子定数の計算
口頭（一般） 村上創，佐藤秀樹，高橋克幸，向川政治， 高木浩一
令和元年 電気学会 基礎・材料・共通部門大会 (岩手大学（岩手県）)
2019年09月電気学会
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オージェ放出を考慮した誘電体バリアからの二次電子放出係数の温度依存性の理論計算
口頭（一般） 齋藤亮，佐藤優，増山静香，向川政治，高木浩一
2019年度電気関係学会東北支部連合大会 (秋田大学（秋田県）)
2019年08月電気学会
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Deposition of DLC films using HiPIMS driven by spiker-sustainer pulses
口頭（一般） 阿部星輝，高橋睦美，高橋克幸，向川政治，高木浩一，行村建
2019年度電気関係学会東北支部連合大会 (秋田大学（秋田県）)
2019年08月電気学会
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Characteristics of HiPIMS plasma driven by spiker-sustainer pulses for DLC deposition
ポスター（一般） M. Takahashi, S. Abe, K. Takahashi, S. Mukaigawa, K. Takaki, Ken Yukimura
XXXIV International Conference on Phenomena in Ionized Gases (XXXIV ICPIG), 10th International Conference on Reactive Plasmas (ICRP-10) (Sapporo Education and Culture Hall, Sapporo, Hokkaido, Japan)
2019年07月 -
Silicon wafer etching by burst-mode high-power ICP with 150 kHz frequency band
ポスター（一般） K. Shibata, K. Takahashi, S. Mukaigawa, K. Takaki, Ken Yukimura
XXXIV International Conference on Phenomena in Ionized Gases (XXXIV ICPIG), 10th International Conference on Reactive Plasmas (ICRP-10) (Sapporo Education and Culture Hall, Sapporo, Hokkaido, Japan)
2019年07月 -
CharacteristicsofHiPIMSDrivenbySpiker-sustainerPulsesforDLCDeposition
ポスター（一般） Koichi Takaki, Mutsumi Takahashi, Katsuyuki Takahashi, Seiji Mukaigawa and Ken Yukimura
ISPlasma2019/IC-PLANTS2019 (名古屋工業大学（愛知県）)
2019年03月応用物理学会
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SiliconWaferEtchingbyBurst-modeHigh-powerICPwith150kHzFrequencyBand
ポスター（一般） Kodai Shibata, Yuma Saito, Katsuyuki Takahashi, Seiji Mukaigawa, Koichi Takaki, Ken Yukimura, Hisato Ogiso and Shizuka Nakano
ISPlasma2019/IC-PLANTS2019 (名古屋工業大学（愛知県）)
2019年03月応用物理学会
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誘電体バリア放電における二次電子放出係数の活性化エネルギー
ポスター（一般） 佐藤 優, 増山 静香, 向川 政治, 高橋 克幸, 高木 浩一
第36回プラズマプロセシング研究会(SPP-36)/第31回プラズマ材料科学シンポジウム(SPSM-31) (高知城ホール（高知県）)
2019年01月応用物理学会
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BSO結晶を用いた斜め入射方式による表面電荷測定法の確立
ポスター（一般） 釜渕靖大, 鎌田貴晴, 高橋克幸, 向川政治, 高木浩一
第36回プラズマプロセシング研究会(SPP-36)/第31回プラズマ材料科学シンポジウム(SPSM-31) (高知城ホール（高知県）)
2019年01月応用物理学会
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BSO結晶を用いた斜め入射方式による表面電荷測定
ポスター（一般） 釜渕靖大, 鎌田貴晴, 高橋克幸, 向川政治, 高木浩一
平成３０年度核融合科学研究所共同研究形式研究会 (核融合科学研究所（岐阜県）)
2019年01月核融合科学研究所