論文 - 向川 政治
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Observation of the stripe and filamentary self-organized structure of atmospheric pressure nitrogen microgap dielectric barrier discharge
Ryota Akaishi, Katuyuki Takahashi, Koichi Takaki, Seiji Mukaigawa
Recent trends in technologies of pulse power, high-density plasma and particle beams ( National Institute for Fusion Science ) 2023年03月
その他(含・紀要) 共著・分担
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Filamentation of 2.45-GHz microwave discharge plasmas in sub-atmospheric pressure
Zentarou Sasaki, Tsubasa Saito, Takaharu Kamada, Katsuyuki Takahashi, Koichi Takaki, Seiji Mukaigawa
Recent trends in technologies of pulse power, high-density plasma and particle beams ( National Institute for Fusion Science ) 2023年03月
その他(含・紀要) 共著・分担
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Influence of Gas Species on Electrical Characteristics of High-Power Pulsed Sputtering
Taishin Sato, Katsuyuki Takahashi, Seiji Mukaigawa, Koichi Takaki
Recent trends in technologies of pulse power, high-density plasma and particle beams ( National Institute for Fusion Science ) 2023年03月
その他(含・紀要) 共著・分担
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150 kHz 帯大電力バースト型誘導性結合窒素プラズマの特性
末永 光、菊池尚希、向川政治、高橋克幸、高木浩一
プラズマ応用科学 29 ( 2 ) 59 - 66 2021年12月 [査読有り]
学術誌 共著・分担
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Silicon Wafer Etching Rate Characteristics with Burst Width Using 150 kHz Band High-Power Burst Inductively Coupled Plasma
Hisaki Kikuchi, Katsuyuki Takahashi, Seiji Mukaigawa, Koichi Takaki and Ken Yukimura
Micromachines ( MDPI ) 12 ( 1 ) 599 2021年05月 [査読有り]
国際的学術誌 共著・分担
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Shoki Abe, Katsuyuki Takahashi, Seiji Mukaigawa, Koichi Takaki, Ken Yukimura
Shoki Abe, Katsuyuki Takahashi, Seiji Mukaigawa, Koichi Takaki, Ken Yukimura
Japanese Journal of Applied Physics ( Japan Society of Applied Physics ) 60 ( 1 ) 015501 2020年12月 [査読有り]
国際的学術誌 共著・分担
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Characteristics of Self-Organized Structure in Microgap Dielectric Barrier Discharge at Atmospheric Pressure
Hideki Sato, Sou Murakami, Seiji Mukaigawa, Katsuyuki Takahashi, Koichi Takaki
IEEE Transactions on Plasma Science ( IEEE Nuclear and Plasma Sciences Society ) 49 ( 1 ) 91 - 97 2020年08月 [査読有り]
国際的学術誌 共著・分担
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Silicon wafer etching by pulsed high-power inductively coupled Ar/CF4 plasma with 150 kHz band frequency
Yuma Saito, Kodai Shibata, Katsuyuki Takahashi, Seiji Mukaigawa, Koichi Takaki, Ken Yukimura, Hisato Ogiso, Shizuka Nakano
Japanese Journal of Applied Physics 59 SHHE0 2020年03月 [査読有り]
国際的学術誌 共著・分担
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150 kHz 帯大電力バースト型誘導性結合プラズマの等価回路解析
齋藤雄真、柴田晃大、高橋克幸、向川政治、高木浩一
プラズマ応用科学 26 ( 2 ) 79 - 86 2019年05月 [査読有り]
学術誌 共著・分担
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Global model analysis of Ar inductively coupled plasma driven by a 150 kHz-band high-power pulse burst
Yuma Saito, Kodai Shibata, Katsuyuki Takahashi, Seiji Mukaigawa, Koichi Takaki, Ken Yukimura
Japanese Journal of Applied Physics 58 SAAB06 2019年01月 [査読有り]
国際的学術誌 共著・分担
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Effect of barrier capacitance on self-organized structure in dielectric-barrier discharge microplasma
向川政治、藤原一延、佐藤友彦、小田桐諒、工藤智広、小國恭平、高木浩一
Japanese Journal of Applied Physics 55 07LB04 2016年06月 [査読有り]
国際的学術誌 共著・分担
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Fabrication of diamond-like carbon films using pseudo-spark discharge plasma-enhanced chemical vapor deposition method
Takaharu Kamada, Yoshitake Sohma, Masayuki Watanabe, Seiji Mukaigawa
Japanese Journal of Applied Physics 53 ( 6 ) 68006 2014年05月 [査読有り]
国際的学術誌 共著・分担
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Surface-charge measurements in microgap dielectric barrier discharge using bismuth silicon oxide crystals
S.Mukaigawa, H.Matsuda, H.Fue, K.Takaki, T.Fujiwara
Journal of Physics: Conference Series 441 ( 1 ) 12012 2013年06月 [査読有り]
国際的学術誌 共著・分担
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Self-organization pattern of microgap atmospheric barrier discharge
Sato, T., Hasegawa, T., Fue, H., Mukaigawa, S., Takaki, K., Fujiwara, T.
IEEE Transactions on Plasma Science 39 ( 11-1 ) 2202 - 2203 2011年11月 [査読有り]
学術誌 共著・分担
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Discharge formation of DBD with floating electrode array at atmospheric pressure in mixed gas of helium and nitrogen
Matsumoto, S., Takahashi, K., Mukaigawa, S., Takaki, K., Fujiwara, T.
IEEE Transactions on Plasma Science 39 ( 11-1 ) 2148 - 2149 2011年11月 [査読有り]
学術誌 共著・分担
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Development of self-organized filaments in a microgap atmospheric barrier discharge on bismuth silicon oxide dielectrics
Fue, H., Hasegawa, T., Sato, T., Mukaigawa, S., Takaki, K., Fujiwara, T.
IEEE Transactions on Plasma Science 39 ( 11-1 ) 2140 - 2141 2011年11月 [査読有り]
学術誌 共著・分担
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Shunting arc generation by parallel rod configuration
Takaki, T., Murakami, T., Mukaigawa, S., Fujiwara, T., Yukimura, K.
Plasma Sources Sci. Technol. 20 ( 1 ) 015012 2011年02月 [査読有り]
学術誌 共著・分担
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Purification of High-Conductivity Water Using Gas–Liquid Phase Discharge Reactor
K. Takahashi, Y. Sasaki, S. Mukaigawa, K. Takaki, T. Fujiwara and N. Satta
IEEE Transactions on Plasma Science 38 ( 10 ) 2694 - 2700 2010年10月 [査読有り]
学術誌 共著・分担
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誘導性パルスパワー電源を用いたオゾン生成効率のパルス幅依存性
八木一平,向川政治,高木浩一,藤原民也 ,郷冨夫
電気学会論文誌A 130 ( 6 ) 549 - 554 2010年06月 [査読有り]
学術誌 共著・分担
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Production of Titanium-Containing Carbon Plasma Using Shunting Arc Discharge for Hybrid Film Deposition
Koichi Takaki, Takayuki Murakami, Seiji Mukaigawa, Tamiya Fujiwara, Ken Yukimura
Japanease Journal of Applied Physics 49 046001 2010年04月 [査読有り]
学術誌 共著・分担